長鑫存儲技術有限公司王世生獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉長鑫存儲技術有限公司申請的專利晶圓顆粒的質量等級確定方法和裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115565589B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110753147.8,技術領域涉及:G11C29/08;該發明授權晶圓顆粒的質量等級確定方法和裝置是由王世生設計研發完成,并于2021-07-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓顆粒的質量等級確定方法和裝置在說明書摘要公布了:本發明實施例提供一種晶圓顆粒的質量等級確定方法和裝置,獲取多個晶圓顆粒的分bin結果,根據分bin結果確定至少兩個重要bin,根據重要bin的取值形成多個bin組合,根據多個晶圓顆粒的分bin結果,確定每個bin組合的無效晶圓顆粒的PPM以及PPM的置信區間最大值,根據多個bin組合的PPM的置信區間最大值的大小,確定每個bin組合對應的晶圓顆粒質量等級。該方式通過對大量晶圓顆粒的分bin結果進行統計分析,獲得重要bin組成的bin組合,并形成bin組合與晶圓顆粒的質量等級的對應關系,后續根據該對應關系預測待分類晶圓顆粒的質量等級,該方式對晶圓顆粒的質量等級的預測效率更高,且預測準確率也更高。
本發明授權晶圓顆粒的質量等級確定方法和裝置在權利要求書中公布了:1.一種晶圓顆粒的質量等級確定方法,其特征在于,包括: 獲取多個晶圓顆粒的分bin結果,每個晶圓顆粒的分bin結果包括晶圓顆粒的標識、bin的類型、各bin的取值和數據標簽; 根據所述分bin結果確定至少兩個重要bin,所述重要bin為對晶圓顆粒的質量影響較大的bin; 根據所述重要bin的取值形成多個bin組合,每個bin組合由所述重要bin組成,且任意兩個bin組合中有至少一個重要bin的取值不同; 根據所述多個晶圓顆粒的分bin結果,確定每個bin組合的無效晶圓顆粒的百萬分率PPM以及PPM的置信區間最大值; 根據所述多個bin組合的PPM的置信區間最大值的大小,確定每個bin組合對應的晶圓顆粒質量等級; 將待分類晶圓顆粒的各bin值,與所述多個bin組合進行匹配,將匹配成功的目標bin組合對應的晶圓顆粒質量等級確定為所述待分類晶圓顆粒的質量等級。
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