應用材料公司S·M·蘇尼卡獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利利用浮動邊緣控制的拋光承載頭獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115008337B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210208134.7，技術領域涉及：B24B37/10；該發明授權利用浮動邊緣控制的拋光承載頭是由S·M·蘇尼卡;A·J·納耿加斯特;J·古魯薩米設計研發完成，并于2022-03-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本利用浮動邊緣控制的拋光承載頭在說明書摘要公布了：本申請公開了利用浮動邊緣控制的拋光承載頭。一種用于在拋光系統中固持基板的承載頭包括：殼體；環形主體，通過致動器相對于殼體是豎直地可移動的；第一環形隔膜，經固定以在環形主體下方移動，從而在第一環形隔膜與環形主體之間形成至少一個下可加壓腔室；以及至少一個壓力供應線，連接至至少一個下可加壓腔室。環形主體包括上部以及從該上部向下伸出的至少一個下桿，其中，該至少一個下桿位于至少一個下可加壓腔室內部。
本發明授權利用浮動邊緣控制的拋光承載頭在權利要求書中公布了：1.一種用于在拋光系統中固持基板的承載頭，包括： 殼體； 柔性的中央隔膜，具有一個或多個翻板以用于形成一個或多個可加壓腔室； 保持環； 環形壓力控制組件，位于所述保持環與所述柔性的中央隔膜之間，所述環形壓力控制組件包括： 環形主體，所述環形主體通過致動器相對于所述殼體是豎直地可移動的，所述環形主體包括上部以及從所述上部向下伸出的至少一個下桿；和 第一環形隔膜，經固定至所述環形主體并且在所述環形主體下方延伸，從而在所述第一環形隔膜與所述環形主體之間形成至少一個下可加壓腔室，其中，所述至少一個下桿位于所述至少一個下可加壓腔室內部；以及至少一個壓力供應線，連接至所述至少一個下可加壓腔室。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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