株式會社國際電氣笠松健太獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社國際電氣申請的專利反應管、處理裝置、和半導體裝置的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115132560B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210273408.0，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權反應管、處理裝置、和半導體裝置的制造方法是由笠松健太;平野敦士;山本哲夫;佐佐木隆史設計研發完成，并于2022-03-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本反應管、處理裝置、和半導體裝置的制造方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種反應管、處理裝置、和半導體裝置的制造方法，減小處理室的基板設置區域中的壓力差，并使從排出部排出的氣體的流動均勻。反應管構成為在內部形成有處理室，該處理室在一端設置有氣體供給部且在另一端設置有排出部，具備調節部，該調節部構成為能夠抑制從排出部排出的氣體的流動，利用該調節部對處理室中的從氣體供給部到排出部的氣體流動，從而使從排出部排出的氣體的流動均勻。
本發明授權反應管、處理裝置、和半導體裝置的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種反應管，其特征在于， 在內部形成有處理室，該處理室在一端設置有氣體供給部并在另一端設置有排出部， 具備調節部，該調節部為了抑制從所述排出部排出的氣體的流動，構成為至少確保所述排出部的橫向寬度地比所述排出部向外側突出， 所述調節部構成為在所述排出部的上下方向上從所述處理室朝向外側的方向的厚度不同。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社國際電氣，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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