杰宜斯科技有限公司白承大獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉杰宜斯科技有限公司申請的專利基板清洗裝置及其控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115223914B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210416659.X，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權基板清洗裝置及其控制方法是由白承大;許今東;金成燁;孫在煥;金南辰;樸峻求設計研發完成，并于2022-04-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板清洗裝置及其控制方法在說明書摘要公布了：本發明公開了基板清洗裝置及其控制方法，基板清洗裝置的特征在于，包括：真空卡盤部，用于放置晶圓；環形蓋部，與晶圓的卡環部對置；擴張機模塊，以能夠使環形蓋部移動的方式設置，并且對卡環部向真空卡盤部側施加壓力，以使晶圓中晶粒的間隔擴大；以及卡盤模塊，設置于真空卡盤部，以將被擴張機模塊施加壓力的環形蓋部限制在真空卡盤部。
本發明授權基板清洗裝置及其控制方法在權利要求書中公布了：1.一種基板清洗裝置，其特征在于，包括： 真空卡盤部，用于放置晶圓； 環形蓋部，與所述晶圓的卡環部對置； 擴張機模塊，以能夠使所述環形蓋部移動的方式設置，并且對所述卡環部向所述真空卡盤部側施加壓力，以使所述晶圓中晶粒的間隔擴大；以及 卡盤模塊，設置于所述真空卡盤部，以將被所述擴張機模塊施加壓力的所述環形蓋部限制在所述真空卡盤部， 所述擴張機模塊包括： 擴張機頭部；以及 多個擴張機臂部，與所述擴張機頭部連接，并且具備用于把持所述環形蓋部來使所述環形蓋部移動而能夠插入所述環形蓋部的外側面的鉤銷部。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杰宜斯科技有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號