株式會社斯庫林集團筱原智之獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利襯底洗凈裝置及襯底洗凈方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115588628B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210773648.7，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權襯底洗凈裝置及襯底洗凈方法是由筱原智之;石井淳一;中村一樹;岡田吉文;髙橋拓馬;筱原敬;沖田展彬設計研發完成，并于2022-07-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本襯底洗凈裝置及襯底洗凈方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種襯底洗凈裝置及襯底洗凈方法。通過將洗凈工具接觸于由第1保持部保持的襯底的下表面中央區域來將下表面中央區域洗凈。通過將洗凈工具接觸于由第2保持部旋轉的襯底的下表面外側區域來將襯底的下表面外側區域洗凈。在下表面中央區域的洗凈時，在不保持襯底的狀態下使第2保持部繞鉛直軸旋轉?；?，在下表面中央區域的洗凈時，通過配置在洗凈工具與第2保持部之間的氣體噴出部從只離開襯底特定距離的第1高度向襯底噴出氣體，且在下表面中央區域的干燥時，通過氣體噴出部從比第1高度更接近襯底的第2高度向襯底噴出氣體。
本發明授權襯底洗凈裝置及襯底洗凈方法在權利要求書中公布了：1.一種襯底洗凈裝置，具備： 第1保持部，具有基準位置，以襯底的中心位于所述基準位置的方式保持所述襯底； 第2保持部，構成為能繞鉛直軸旋轉，保持所述襯底的下表面中央區域； 洗凈工具，通過接觸于由所述第1保持部保持的所述襯底的所述下表面中央區域來將所述下表面中央區域洗凈，且通過接觸于由所述第2保持部旋轉的所述襯底的包圍所述下表面中央區域的下表面外側區域來將所述下表面外側區域洗凈；及 可動臺座，設置著所述第2保持部及所述洗凈工具，以于所述襯底在所述第1保持部與所述第2保持部之間交接時，在俯視下，所述第2保持部與所述第1保持部的所述基準位置重疊，且在所述下表面中央區域的洗凈時，在所述俯視下，所述洗凈工具與所述第1保持部的所述基準位置重疊的方式，在水平面內移動；且 所述第2保持部和所述洗凈工具與所述可動臺座一起在水平面內一體地移動； 所述第2保持部在所述下表面中央區域的洗凈時，在不保持所述襯底的狀態下旋轉。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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