先進能源科學與技術廣東省實驗室;中國科學院近代物理研究所熊平然獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉先進能源科學與技術廣東省實驗室;中國科學院近代物理研究所申請的專利一種超導腔緩沖化學拋光在線監測設備及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116356329B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310120179.3，技術領域涉及：C23F3/06；該發明授權一種超導腔緩沖化學拋光在線監測設備及方法是由熊平然;郭浩;游志明;宋玉堃;譚騰;初青偉;何源設計研發完成，并于2023-02-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種超導腔緩沖化學拋光在線監測設備及方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種超導腔緩沖化學拋光在線檢測設備及方法，該設備包括移動車，設置在移動車上的重力傳感器和支撐桿組件，所述重力傳感器設置在移動車和支撐桿組件之間，所述支撐桿組件上設有旋轉電機和超導腔，所述旋轉電機用于驅動超導腔進行旋轉，所述超導腔和BCP設備連接，所述BCP設備包括向超導腔提供拋光液的拋光液提供組件，所述重力傳感器連接有信號傳輸組件。本發明能夠實時檢測超導腔的質量變化，再根據拋光時間計算出超導腔的平均拋光厚度和平均拋光速率，以實現拋光厚度的精準控制。
本發明授權一種超導腔緩沖化學拋光在線監測設備及方法在權利要求書中公布了：1.一種超導腔緩沖化學拋光在線監測設備，其特征在于：包括移動車1，設置在移動車上的重力傳感器2和支撐桿組件30，所述重力傳感器設置在移動車和支撐桿組件之間，所述支撐桿組件上設有旋轉電機15和超導腔7，所述旋轉電機用于驅動超導腔進行旋轉，所述超導腔和BCP設備連接，所述BCP設備包括向超導腔提供拋光液的拋光液提供組件10，所述重力傳感器連接有信號傳輸組件20； 所述拋光液提供組件包括拋光液槽12，所述超導腔上設有進液管8和出液管9，所述拋光液槽的下部通過進液波紋管101和所述進液管連接，所述拋光液槽的上部通過出液波紋管102和所述出液管連接，所述進液波紋管上設有泵體11； 所述拋光液提供組件（10）和超導腔7形成一個封閉的回路，拋光液通過泵體的工作在此回路中循環流動。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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