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龍圖騰網(wǎng)獲悉邁為技術(shù)(珠海)有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利刺晶型巨量轉(zhuǎn)移裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116246988B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202310190492.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)刺晶型巨量轉(zhuǎn)移裝置是由陳萬(wàn)群;滕翔宇;熊利剛設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-03-02向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本刺晶型巨量轉(zhuǎn)移裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及MiniLED晶圓巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種刺晶型巨量轉(zhuǎn)移裝置，旨在緩解相關(guān)技術(shù)中產(chǎn)能低、產(chǎn)品精度差的技術(shù)問(wèn)題。該刺晶型巨量轉(zhuǎn)移裝置在刺晶時(shí)，X向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶著基板載具上的基板沿X向移動(dòng)，使基板與固晶總成夾持的晶圓實(shí)現(xiàn)精確對(duì)位，從而代替了固晶總成在X向的移動(dòng)，通過(guò)這一轉(zhuǎn)換，實(shí)現(xiàn)了減重，可滿(mǎn)足刺晶作業(yè)高頻高速高精度的要求，緩解了現(xiàn)有刺晶作業(yè)時(shí)產(chǎn)能低、產(chǎn)品精度差的技術(shù)問(wèn)題。

本發(fā)明授權(quán)刺晶型巨量轉(zhuǎn)移裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種刺晶型巨量轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括：上料總成100、固晶總成200、刺晶總成300、基板進(jìn)料總成400、基板移動(dòng)總成500和X軸橫梁總成600； 所述上料總成100用于晶圓的上料，且包括用于裝載晶圓的晶圓載具110； 所述固晶總成200用于夾持所述晶圓載具110； 所述刺晶總成300用于將晶圓上的芯粒轉(zhuǎn)移到基板700； 所述基板進(jìn)料總成400用于運(yùn)輸基板700； 所述基板移動(dòng)總成500設(shè)置于所述基板進(jìn)料總成400處，包括基板載具510和X向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)520，所述基板載具510用于吸附所述基板進(jìn)料總成400所述運(yùn)輸基板，所述X向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)520與所述基板載具510傳動(dòng)連接，用于帶動(dòng)所述基板載具510沿X向移動(dòng)； 所述X軸橫梁總成600與所述固晶總成200傳動(dòng)連接，以帶動(dòng)所述固晶總成200運(yùn)動(dòng)至所述上料總成100處、所述基板載具510處，還與所述刺晶總成300傳動(dòng)連接，以帶動(dòng)所述刺晶總成300運(yùn)動(dòng)至所述基板載具510處； 所述上料總成100還包括支撐板120、第一安裝板130、第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)140、取料機(jī)構(gòu)150以及第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)； 所述第一安裝板130與所述支撐板120滑動(dòng)配合； 所述第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)140與所述第一安裝板130傳動(dòng)連接，用于帶動(dòng)所述第一安裝板130水平移動(dòng)； 所述取料機(jī)構(gòu)150設(shè)置于所述第一安裝板130，并具有鎖定和解鎖兩種狀態(tài)； 所述第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述取料機(jī)構(gòu)150傳動(dòng)連接，并配置成在上料工況下，帶動(dòng)所述取料機(jī)構(gòu)150在鎖定和解鎖兩種狀態(tài)中切換，以對(duì)應(yīng)鎖緊或松脫所述晶圓載具110； 所述晶圓載具110設(shè)有兩個(gè)間隔分布的鎖鉤111，兩個(gè)所述鎖鉤111的開(kāi)口相背設(shè)置； 所述取料機(jī)構(gòu)150包括第一連接桿151和兩個(gè)第二連接桿152； 一個(gè)所述第二連接桿152的一端設(shè)有與其中一所述鎖鉤111相適配的第一緊固體153，另一端通過(guò)第一鉸鏈銷(xiāo)154與所述第一連接桿151的一端鉸接，一個(gè)所述第二連接桿152還通過(guò)第二鉸鏈銷(xiāo)155與所述第一安裝板130鉸接，且所述第二鉸鏈銷(xiāo)155處于所述第一鉸鏈銷(xiāo)154與所述第一緊固體153之間； 另一所述第二連接桿152的一端通過(guò)第三鉸鏈銷(xiāo)156與所述第一安裝板130鉸接，另一端設(shè)有與另一所述鎖鉤111相適配的第二緊固體157，且所述第二緊固體157與所述第一緊固體153處于所述第一連接桿151的同一側(cè)，另一所述第二連接桿152還通過(guò)第四鉸鏈銷(xiāo)158與所述第一連接桿151的另一端鉸接，且所述第四鉸鏈銷(xiāo)158處于所述第三鉸鏈銷(xiāo)156與所述第二緊固體157之間； 所述第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括復(fù)位組件170和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)組件180； 所述復(fù)位組件170用于與其中一所述第二連接桿152連接，使所述第二連接桿152具有繞其與所述第一安裝板130的鉸接軸線朝向所述鎖鉤111轉(zhuǎn)動(dòng)的趨勢(shì)； 兩組所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)組件180沿所述第一安裝板130的滑動(dòng)路徑間隔分布，用于與其中一所述第二連接桿152傳動(dòng)連接，并配置成在上料工況下，任一組所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)組件180帶動(dòng)所述第二連接桿152繞其與所述第一安裝板130的鉸接軸線遠(yuǎn)離所述鎖鉤111轉(zhuǎn)動(dòng)。

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