華東理工大學張顯程獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉華東理工大學申請的專利一種金屬材料FIB-SEM原位拉伸疲勞測試方法獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116337914B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202310250818.8,技術領域涉及:G01N23/2251;該發(fā)明授權一種金屬材料FIB-SEM原位拉伸疲勞測試方法是由張顯程;王繼;聶文睿;閆亞賓;王潤梓;李凱尚;涂善東設計研發(fā)完成,并于2023-03-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種金屬材料FIB-SEM原位拉伸疲勞測試方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開一種金屬材料FIB?SEM原位拉伸疲勞測試方法,涉及金屬性能測試領域,包括以下步驟:步驟一、將樣品塊設置于SEM的樣品臺上,根據樣品塊的EBSD結果挑選合適晶粒,在FIB視角下找到對應位置;步驟二、利用FIB在選定位置處進行切割,將樣品塊切割為基體塊和微塊兩部分,機械手帶動微塊遠離基體塊;步驟三、將基體塊由樣品臺取下,并將載物塊設置于樣品臺上,將微塊固定于載物塊上;步驟四、對固定好的微塊進行試樣形狀的加工;步驟五、將樣品臺取下,并將樣品臺設置于原位力學測試平臺的加載臺上,進行拉伸疲勞試驗。該方法可用于開展金屬材料在FIB?SEM系統(tǒng)下微觀拉伸疲勞行為研究。
本發(fā)明授權一種金屬材料FIB-SEM原位拉伸疲勞測試方法在權利要求書中公布了:1.一種金屬材料FIB-SEM原位拉伸疲勞測試方法,其特征在于,包括以下步驟: 步驟一、將樣品塊設置于SEM的樣品臺上,根據樣品塊的EBSD結果挑選合適晶粒,在FIB視角下找到對應位置; 步驟二、利用FIB在選定位置處進行切割,將所述樣品塊切割為基體塊和微塊兩部分,所述微塊的一端與所述基體塊連接,通過Pt沉積的方法將所述微塊與機械手固定在一起,之后利用FIB切開所述微塊和所述基體塊之間的連接處,所述機械手帶動所述微塊遠離所述基體塊; 步驟三、將所述基體塊由所述樣品臺取下,并將載物塊設置于所述樣品臺上,所述機械手帶動所述微塊移動進而與所述載物塊相接觸,通過Pt沉積的方法將所述微塊固定于所述載物塊上,之后利用FIB切開所述機械手與所述微塊的連接處,并移出所述機械手; 步驟四、對固定好的所述微塊進行試樣形狀的加工,利用FIB將所述微塊的上部加工為工字形進而得到疲勞試樣,所述疲勞試樣包括與所述載物塊固定連接的基座和設置于所述基座上的工字形試樣; 步驟五、將所述樣品臺取下,并將所述樣品臺設置于原位力學測試平臺的加載臺上,原位力學測試平臺的加載頭上設置有與所述工字形試樣的一端結構相匹配的預制凹槽,將所述原位力學測試平臺設置于SEM中,抽完真空后,調整所述加載臺的位置,使所述工字形試樣與所述加載頭的預制凹槽嵌合,之后進行拉伸疲勞試驗;完成拉伸疲勞試驗后,使用SEM觀察所述工字形試樣的滑移變形與斷口形貌; 在步驟一中,在SEM中選取樣品塊的一個區(qū)域進行EBSD分析,將FIB與SEM進行合軸,使得SEM和FIB視角下觀察到的是同一位置,之后在FIB視角下,選用小束流的離子束掃描所述樣品塊的表面,掃描后所述樣品塊的表面體現(xiàn)出不同的襯度,在FIB視角可以觀察到晶粒和晶界,進而明確所述樣品塊的晶粒取向,在FIB視角下找到對應位置; 在步驟二中,選定初始試樣塊的位置,用大束流的離子束切割所述初始試樣塊的四周區(qū)域,并保留左下角的連接處;使得所述樣品臺下降,并將所述樣品臺傾斜,采用長焦距束流沿長度方向切穿所述初始試樣塊的底部形成所述微塊,所述微塊的左下角與所述基體塊連接;使得所述樣品臺回到水平狀態(tài),移動所述機械手與所述微塊接觸,在接觸點通過Pt沉積的方法將所述微塊與所述機械手固定在一起; 在步驟三中,對所述微塊進行修型,使得所述微塊的底面水平;移動所述機械手,使得所述微塊的底面與所述載物塊的預制槽口接觸,通過Pt沉積的方法將所述微塊的一側固定在所述載物塊上;利用FIB切開所述機械手與所述微塊的連接處,并移出所述機械手;將所述載物塊旋轉180°,通過Pt沉積的方法將所述微塊的另一側固定在所述載物塊上; 在步驟四中,將所述載物塊旋轉90°,利用FIB對所述微塊遠離所述載物塊的一端進行切割;然后旋轉90°使得所述載物塊回到水平狀態(tài),通過Pt沉積的方法在所述微塊的上方沉積一塊目標區(qū)域;隨后,參照所述目標區(qū)域并利用FIB對所述微塊遠離所述載物塊的一端繼續(xù)切割形成矩形板;再次將所述載物塊旋轉90°,利用FIB對所述矩形板進行加工,得到所述工字形試樣。
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