龍口市比特真空技術有限公司王桂岳獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉龍口市比特真空技術有限公司申請的專利一種軸承鋼珠表面潤滑涂層工藝獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116377379B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310498354.2,技術領域涉及:C23C14/02;該發明授權一種軸承鋼珠表面潤滑涂層工藝是由王桂岳;趙松強;王可峰;欒庚祖設計研發完成,并于2023-05-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種軸承鋼珠表面潤滑涂層工藝在說明書摘要公布了:本發明提供一種軸承鋼珠表面潤滑涂層工藝,涉及鋼珠表面潤滑工藝領域。該基于一種軸承鋼珠表面潤滑涂層工藝,包括,S1.采用陽極層離子源對金屬球進行表面清洗,采用氬氣和氫氣的混合氣體,對雜質、氧化物進行去除及還原。在小于300℃時,Ag能提供足夠的潤滑能力,而溫度更高時,700℃的高溫摩擦環境中,空氣環境中Mo發生氧化MoO3作為主要的潤滑成分,TaC涂層為主要的硬度支撐層以及耐磨層,軸承鋼球在不同的應用環境中可隨著溫度的變化均實現高潤滑性能采用高功率脈沖磁控濺射技術可極大的提高涂層的結合強度與致密性、缺陷少、粗糙度低,可以提高鋼球的抗磨損性能,提高軸承的使用壽命及精度。
本發明授權一種軸承鋼珠表面潤滑涂層工藝在權利要求書中公布了:1.一種軸承鋼珠表面潤滑涂層工藝,其特征在于,包括: S1.采用陽極層離子源對金屬球進行表面清洗,采用氬氣和氫氣的混合氣體,對雜質、氧化物進行去除及還原; S2.采用高功率磁控濺射在鋼球表面沉積Cr、Ni或NiCr過渡層,所用靶材為Cr、Ni或任意比例的NiCr合金,沉積前先進行濺射處理; S3.在鋼球表面沉積Cr、Ni或NiCr過渡層、氬氣為70-150sccm、靶材功率為2-10kW、頻率為20-500Hz、脈寬50-200μs、偏壓為20-200V、鍍層厚度20-500nm; S4.在鋼球過渡層表面沉積Ag作為低溫潤滑層,采用高功率磁控濺射在鋼球表面沉積Ag、所用靶材為Ag、氬氣為70-150sccm、靶材功率為2-10kW、頻率為20-500Hz、脈寬50-200μs、偏壓為20-200V、厚度20-80nm; S5.在Ag層表面沉積Mo潤滑層,采用高功率磁控濺射在鋼球表面沉積Ag,所用靶材為Mo,氬氣為70-150sccm、靶材功率為2-10kW、頻率為20-500Hz、脈寬50-200μs、偏壓為20-200V、過渡層厚度20-80nm; S6.在Mo層表面沉積TaC,作為支撐層提高硬度并兼具潤滑性能,采用高功率磁控濺射在其表面沉積TaC,靶材為碳、氬氣為70-150sccm、靶材功率為2-10kW、頻率為20-500Hz、脈寬50-200μs、偏壓為20-200V、厚度50-100nm; S7.重復S4-S6步驟,涂層總厚度為500nm。
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