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龍圖騰網(wǎng)獲悉柳州華錫有色設(shè)計(jì)研究院有限責(zé)任公司申請(qǐng)的專利一種三步分段燒結(jié)工藝制備IGZO靶材的方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN117447188B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202311339456.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C04B35/01；該發(fā)明授權(quán)一種三步分段燒結(jié)工藝制備IGZO靶材的方法是由樊繁;王莉莉;徐燦輝;農(nóng)永萍;趙明勇設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-10-17向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種三步分段燒結(jié)工藝制備IGZO靶材的方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)一種三步分段燒結(jié)工藝制備IGZO靶材的方法，按以下步驟進(jìn)行：將IGZO生坯放入燒結(jié)爐中，在負(fù)壓以及空氣氣氛下，由室溫以速率Ⅰ升至第一燒結(jié)溫度500～700℃，保溫2～6h進(jìn)行脫脂；將爐內(nèi)的溫度再以速率Ⅰ升至700～800℃后開(kāi)始充入氧氣，控制爐內(nèi)的氣壓；在氧氣氣氛下，將爐內(nèi)的溫度以速率Ⅱ升至第二燒結(jié)溫度1350～1550℃，保溫1～4h；將爐內(nèi)的溫度以速率Ⅲ降至第三燒結(jié)溫度1300～1380℃，保溫4～6h，在此段保溫時(shí)間的中點(diǎn)通入氬氣、調(diào)整氧氣流量來(lái)調(diào)節(jié)爐內(nèi)氧體積濃度，氧氣和氬氣流量比控制在（0.2～0.8）:1；將爐內(nèi)的溫度以速率Ⅳ降至800～1000℃后隨爐冷卻，停止通入氧氣，當(dāng)溫度降至650～950℃停止通入氬氣，最后室溫出爐，得到IGZO靶材。本發(fā)明操作簡(jiǎn)便，工藝簡(jiǎn)單可控，可實(shí)現(xiàn)大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)，獲得的IGZO靶材相對(duì)密度可達(dá)99.70%，電阻率不高于1.49mΩ·cm。

本發(fā)明授權(quán)一種三步分段燒結(jié)工藝制備IGZO靶材的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種三步分段燒結(jié)工藝制備IGZO靶材的方法，其特征在于，按以下步驟進(jìn)行： （1）將IGZO生坯放入燒結(jié)爐中，在負(fù)壓以及空氣氣氛下，由室溫以速率Ⅰ升至第一燒結(jié)溫度500～700℃，保溫2～6h進(jìn)行脫脂； （2）將爐內(nèi)的溫度再以速率Ⅰ升至700～800℃后開(kāi)始充入氧氣，控制爐內(nèi)的氣壓； （3）在氧氣氣氛下，將爐內(nèi)的溫度以速率Ⅱ升至第二燒結(jié)溫度1350～1550℃，保溫1～4h； （4）將爐內(nèi)的溫度以速率Ⅲ降至第三燒結(jié)溫度1300～1380℃，保溫4～6h，在此段保溫時(shí)間的中點(diǎn)通入氬氣、調(diào)整氧氣流量來(lái)調(diào)節(jié)爐內(nèi)氧體積濃度，氧氣和氬氣流量比控制在（0.2～0.8）:1； （5）將爐內(nèi)的溫度以速率Ⅳ降至800～1000℃后隨爐冷卻，停止通入氧氣，當(dāng)溫度降至650～950℃停止通入氬氣，最后室溫出爐，得到IGZO靶材。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人柳州華錫有色設(shè)計(jì)研究院有限責(zé)任公司，其通訊地址為：545005 廣西壯族自治區(qū)柳州市初陽(yáng)路19號(hào)A區(qū)廠房3棟230號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。