創微微電子(常州)有限公司左國軍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉創微微電子(常州)有限公司申請的專利檢測探頭獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223260550U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202421878783.9,技術領域涉及:H01L21/67;該實用新型檢測探頭是由左國軍;饒相松;莊海云;李雄朋設計研發完成,并于2024-08-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本檢測探頭在說明書摘要公布了:本實用新型屬于檢測技術領域,具體涉及一種檢測探頭,本裝置包括:隔離外殼,所述隔離外殼的內部滑動連接有觸發桿;其中所述觸發桿的底端延長至隔離外殼的底部下方;以及檢測器,設置在隔離外殼的內部;其中所述觸發桿與物體抵接而發生位移時,使觸發桿的頂端與檢測器的檢測端口接觸,進而使檢測器檢測到夾持信號;采用觸發桿與檢測器物理接觸的形式,當機械臂夾持物體的同時,觸發桿與物體接觸后位移,使得觸發桿與檢測器接觸,使得檢測器得到信號,在藥液中也能夠穩定感應,彌補現有技術中激光感應夾持到位所帶來的不足。
本實用新型檢測探頭在權利要求書中公布了:1.一種檢測探頭,其特征在于,包括: 隔離外殼,所述隔離外殼的內部滑動連接有觸發桿;其中 所述觸發桿的底端延長至隔離外殼的底部下方;以及 檢測器,設置在隔離外殼的內部;其中 所述觸發桿與物體抵接而發生位移時,使觸發桿的頂端與檢測器的檢測端口接觸,進而使檢測器檢測到夾持信號。
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