蓋澤智控傳感技術(上海)有限公司周益初獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蓋澤智控傳感技術(上海)有限公司申請的專利一種晶圓字符OCR識別設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223260554U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422185881.0,技術領域涉及:H01L21/67;該實用新型一種晶圓字符OCR識別設備是由周益初;盧利軍;周亭成;任杰;包路紅設計研發完成,并于2024-09-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓字符OCR識別設備在說明書摘要公布了:本實用新型涉及晶圓制造技術領域,尤其是一種晶圓字符OCR識別設備。第一驅動部和第二驅動部均由機架進行負擔。晶圓邊緣數據拾取單元和OCR識別單元執行平移運動的動力源均為第一驅動部,且兩者對向而置。晶圓承載臺執行平面運動的動力源為第二驅動部。晶圓邊緣數據拾取單元通過拾取晶圓的邊緣輪廓數據,即可輕松、且有效地判定晶圓形心及其缺口是否符合預期設計要求,且控制器據此發出控制信號至第二驅動部,晶圓承載臺得以執行平面運動,與此同時,控制器據同步地發出控制信號至晶圓承載臺,晶圓跟隨晶圓承載臺執行微速周向旋轉運動,直至晶圓形心及其缺口均符合預期設計要求,利于后續OCR識別單元精準、且快速地識別晶圓字符。
本實用新型一種晶圓字符OCR識別設備在權利要求書中公布了:1.一種晶圓字符OCR識別設備,其特征在于,包括機架、晶圓承載臺、晶圓邊緣輪廓數據拾取單元、OCR識別單元、第一驅動部以及第二驅動部;所述第一驅動部和所述第二驅動部均由所述機架進行負擔;所述晶圓邊緣數據拾取單元和所述OCR識別單元執行平移運動的動力源均為所述第一驅動部,且兩者沿著左右方向對向而置;所述晶圓承載臺用來承接經由機械手轉移而來的晶圓,且執行平面運動的動力源為第二驅動部;當所述晶圓承載臺帶動晶圓執行周向旋轉運動時,所述晶圓邊緣輪廓數據拾取單元獲取晶圓邊緣輪廓數據,所述第二驅動部用于驅動所述晶圓承載臺執行平面運動,且在來自于所述晶圓承載臺的轉動力矩作用下,當晶圓缺口處于預期設計位,所述第一驅動部用于驅動所述晶圓邊緣輪廓數據拾取單元和所述OCR識別單元相向地執行平移運動,所述OCR識別單元對晶圓字符進行識別; 所述晶圓承載臺包括有承力架、心軸、晶圓落放柱、編碼器以及第二同步帶傳動機構;所述承力架由所述第二驅動部負載;所述心軸以所述承力架作為安裝基礎,且其縱向穿越所述承力架;所述晶圓落放柱用來落放、且限位晶圓,其同與所述心軸套裝為一體,且兩者保持同軸;所述第二同步帶傳動機構用來驅動所述心軸執行周向旋轉運動,且其結構主體亦以所述承力架作為安裝基礎;所述編碼器套裝于所述心軸上,且執行跟隨性周向旋轉運動。
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