上海至純半導體設備有限公司陳曦明獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海至純半導體設備有限公司申請的專利一種立式爐管設備的噴氣管結(jié)構(gòu)獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223255422U 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202422280743.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/455；該實用新型一種立式爐管設備的噴氣管結(jié)構(gòu)是由陳曦明;謝永明;杜文正;曹峰峰;陸思健;馮凱設計研發(fā)完成，并于2024-09-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種立式爐管設備的噴氣管結(jié)構(gòu)在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種立式爐管設備的噴氣管結(jié)構(gòu)，所述噴氣管為底端具有進氣口、頂部封閉的直管，所述噴氣管的側(cè)壁沿豎向等間距間隔分布有噴氣口，所述噴氣口為橫向延伸結(jié)構(gòu)。本實用新型的噴氣管結(jié)構(gòu)用于晶圓的化學氣相沉積具有提高晶圓沉積膜厚度均勻性的優(yōu)點。
本實用新型一種立式爐管設備的噴氣管結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種立式爐管設備的噴氣管結(jié)構(gòu)，所述噴氣管為底端具有進氣口、頂部封閉的直管，所述噴氣管的側(cè)壁沿豎向等間距間隔分布有噴氣口，其特征在于，所述噴氣口為橫向延伸結(jié)構(gòu)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上海至純半導體設備有限公司，其通訊地址為：200241 上海市閔行區(qū)紫海路170號1幢304室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據(jù)或者憑證。
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