上海至純半導體設備有限公司陳曦明獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海至純半導體設備有限公司申請的專利一種立式爐管設備的內管結構獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223255421U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422278208.1，技術領域涉及：C23C16/455；該實用新型一種立式爐管設備的內管結構是由陳曦明;謝永明;杜文正;曹峰峰;陸思健;馮凱設計研發完成，并于2024-09-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種立式爐管設備的內管結構在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種立式爐管設備的內管結構，所述內管為底部開口、頂部封閉的筒狀結構，所述內管的側壁沿豎向等間距間隔分布有出氣口，所述出氣口為橫向延伸結構。本實用新型在進行化學氣相沉積時具有提高晶圓上沉積膜厚度均勻性的優點。
本實用新型一種立式爐管設備的內管結構在權利要求書中公布了：1.一種立式爐管設備的內管結構，所述內管為底部開口、頂部封閉的筒狀結構，其特征在于：所述內管的側壁沿豎向等間距間隔分布有出氣口，所述出氣口為橫向延伸結構，所述內管的頂壁還分布有吸氣孔。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海至純半導體設備有限公司，其通訊地址為：200241 上海市閔行區紫海路170號1幢304室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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