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龍圖騰網獲悉蘇州施密科微電子設備有限公司申請的專利一種全自動晶圓槽式清洗機密封加壓清洗槽獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223250033U 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422439004.1，技術領域涉及：B08B3/02；該實用新型一種全自動晶圓槽式清洗機密封加壓清洗槽是由劉金升;謝延鋒;陳飛設計研發完成，并于2024-10-10向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種全自動晶圓槽式清洗機密封加壓清洗槽在說明書摘要公布了：本實用新型公開一種全自動晶圓槽式清洗機密封加壓清洗槽，包括工裝主體以及設置在工裝主體中間下側位置處的安裝座，所述安裝座的中間內側位置處設置有硅電極主體，所述安裝座的上側外部位置處設置有多個工裝夾具，所述工裝主體的上側左右兩端位置處分別設置有上噴淋管，下噴淋管的設置，實現了對硅電極主體下側的直接清潔，與上噴淋管共同作用，無需翻面，大幅提升了清洗效率，同時確保了清潔的全面性，避免了傳統單面清洗后需手動翻轉的低效過程，通過上噴淋管及下噴淋管連接的噴淋頭，噴出高壓水流，能有效克服水珠的表面張力，直接滲透進硅電極主體的微小空隙中，解決了因水珠張力影響而無法深入清潔的問題，確保了清潔的深度和徹底性。

本實用新型一種全自動晶圓槽式清洗機密封加壓清洗槽在權利要求書中公布了：1.一種全自動晶圓槽式清洗機密封加壓清洗槽，包括工裝主體23以及設置在工裝主體23中間下側位置處的安裝座17； 所述安裝座17的中間內側位置處設置有硅電極主體14，所述安裝座17的上側外部位置處設置有多個工裝夾具13，所述工裝主體23的上側左右兩端位置處分別設置有上噴淋管1，所述工裝主體23的右前側外部右方位置處設置有下抽風口3，所述工裝主體23的右前側外部左方位置處設置有上排液口4，所述工裝主體23的右前側外部下方位置處設置有旁通液位5； 所述工裝主體23的內側四角位置處分別設置有電極工裝12，所述工裝主體23通過連接外部電源進行供電； 所述工裝主體23和兩個上噴淋管1的連接位置處設置有連接板15，所述工裝主體23的下側外部位置處設置有固定座9，所述工裝主體23下側和安裝座17的連接位置處設置有密封圈2，所述安裝座17的下側左右兩端位置處開設有底部快排口16，所述安裝座17和工裝主體23的下側連接四角位置處分別設置有限位塊11，所述安裝座17的中間內側設置有電導率7，所述安裝座17的下側開設有兩個底部快排口16； 所述工裝主體23的右側前后兩端設置有連通兩個上噴淋管1的上進液口10； 其特征在于：所述安裝座17的下側中間前后兩端分別設置有下噴淋管8； 所述硅電極主體14所處安裝座17的上側兩端分別設置有兩個電機座6，所述電機座6的下側位置處設置有微型電機21，所述微型電機21的下側位置處連接有驅動輪20，所述驅動輪20的一側上下兩端設置有橡膠滾輪18，兩個所述橡膠滾輪18的中間位置處設置有連接軸19。

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