東莞市華石晶電技術有限公司羅建華獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東莞市華石晶電技術有限公司申請的專利一種正背面晶圓檢測的暗場照明系統和晶圓檢測系統獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223259550U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422461587.8，技術領域涉及：G01N21/01；該實用新型一種正背面晶圓檢測的暗場照明系統和晶圓檢測系統是由羅建華;羅煒桓;何李超;呂永康設計研發完成，并于2024-10-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種正背面晶圓檢測的暗場照明系統和晶圓檢測系統在說明書摘要公布了：本實用新型涉及光學測試技術，公開一種正背面晶圓檢測的暗場照明系統和晶圓檢測系統，包括：上下對稱設置的正面系統和背面系統；其中，正面系統和背面系統均設置有支撐裝置，以及嵌套在支撐裝置內的照明裝置；所述照明裝置包括環形光源、環形聚光棒和波導錐體；且環形聚光棒、波導錐體依次設置在環形光源至支撐裝置的出光口之間；正面系統的支撐裝置環繞出光口設有連通吹吸機構的若干通氣孔；背面系統的支撐裝置環繞出光口設有連通吹吸機構的微孔裝置，且背面系統的支撐裝置的出光口處設有用于放置晶圓的窗口玻璃。本實用新型旨在實現為晶圓正、背面檢測提供暗場照明的同時，使晶圓在檢測過程保持平整。
本實用新型一種正背面晶圓檢測的暗場照明系統和晶圓檢測系統在權利要求書中公布了：1.一種正背面晶圓檢測的暗場照明系統，其特征在于，包括：上下對稱設置的正面系統和背面系統；其中，正面系統和背面系統均設置有支撐裝置，以及嵌套在支撐裝置內的照明裝置； 所述照明裝置包括環形光源、環形聚光棒和波導錐體；且環形聚光棒、波導錐體依次設置在環形光源至支撐裝置的出光口之間； 正面系統的支撐裝置環繞出光口設有連通吹吸機構的若干通氣孔；背面系統的支撐裝置環繞出光口設有連通吹吸機構的微孔裝置，且背面系統的支撐裝置的出光口處設有用于放置晶圓的窗口玻璃。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東莞市華石晶電技術有限公司，其通訊地址為：523000 廣東省東莞市松山湖園區科技十路1號8棟101室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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