深圳市新凱來工業機器有限公司關曉燕獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市新凱來工業機器有限公司申請的專利半導體刻蝕設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223260558U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422475669.8，技術領域涉及：H01L21/67；該實用新型半導體刻蝕設備是由關曉燕;王喬慈;趙軍設計研發完成，并于2024-10-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體刻蝕設備在說明書摘要公布了：本申請實施例提供一種半導體刻蝕設備，涉及半導體技術領域，解決刻蝕性能較差的問題。該半導體刻蝕設備包括第一電極、第二電極、背板，以及等離子體調節裝置，第一電極和第二電極沿第一方向相對設置，第二電極背離第一電極的一側設置有背板，第一電極上承載有待處理基片。等離子體調節裝置包括調整環、驅動組件，以及密封組件，調整環套設在第二電極的外側，并與驅動組件傳動連接，驅動組件驅動調整環相對背板沿第一方向移動，密封組件設置在調整環與背板之間。通過調整調整環的位置，可以調整等離子體的分布，進而調整各膜層的刻蝕均勻性、等離子體邊緣刻蝕行為，以及改善待處理基片邊緣的刻蝕形貌偏移。
本實用新型半導體刻蝕設備在權利要求書中公布了：1.一種半導體刻蝕設備，其特征在于，包括：第一電極、第二電極、背板，以及等離子體調節裝置，所述第一電極和所述第二電極沿第一方向相對設置，所述第二電極背離所述第一電極的一側設置有所述背板，所述第一電極上承載有待處理基片； 所述等離子體調節裝置包括調整環、驅動組件，以及密封組件，所述調整環套設在所述第二電極的外側，并與所述驅動組件傳動連接，所述驅動組件驅動所述調整環相對所述背板沿所述第一方向移動，所述密封組件設置在所述調整環與所述背板之間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市新凱來工業機器有限公司，其通訊地址為：518111 廣東省深圳市龍崗區平湖街道山廈社區中環大道中科谷產業園6棟1301；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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