科磊股份有限公司F·A·庫利獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉科磊股份有限公司申請的專利工藝溫度測量裝置制造技術及其校正及數據內插的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118073219B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202410191379.2，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權工藝溫度測量裝置制造技術及其校正及數據內插的方法是由F·A·庫利;A·恩古葉;J·R·拜洛設計研發完成，并于2019-09-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本工藝溫度測量裝置制造技術及其校正及數據內插的方法在說明書摘要公布了：本申請涉及工藝溫度測量裝置制造技術及其校正及數據內插的方法。本發明揭示一種工藝條件測量晶片組合件。在實施例中，工藝條件測量晶片組合件包含底部襯底及頂部襯底。在另一實施例中，工藝條件測量晶片組合件包含一或多個電子組件，一或多個電子組件經安置在一或多個印刷電路元件上且經內插在頂部襯底與底部襯底之間。在另一實施例中，工藝條件測量晶片組合件包含一或多個屏蔽層，一或多個屏蔽層經形成在底部襯底與頂部襯底之間。在實施例中，一或多個屏蔽層經配置以電磁屏蔽一或多個電子組件且跨底部襯底及頂部襯底擴散電壓電勢。
本發明授權工藝溫度測量裝置制造技術及其校正及數據內插的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于工藝條件測量晶片組合件的方法，其包括： 在等溫條件下，從跨工藝條件測量晶片分布的一組溫度傳感器獲取一組溫度測量值且從跨工藝條件測量晶片分布的一組熱通量傳感器獲取一組熱通量測量值； 校正在所述等溫條件下獲取的所述一組溫度測量值及所述一組熱通量測量值； 將已知熱通量應用到所述工藝條件測量晶片； 在應用所述已知熱通量期間，從所述一組溫度傳感器獲取一組額外溫度測量值且從所述一組熱通量傳感器獲取一組額外熱通量測量值； 在應用所述已知熱通量期間識別跨所述一組溫度傳感器觀察到的溫度變動； 通過將所述已知熱通量與所述一組溫度傳感器的經識別的所述溫度變動相關來識別熱通量-溫度變動關系； 在未知熱通量條件下，從所述一組溫度傳感器獲取一組測試溫度測量值且從所述熱通量傳感器獲取一組測試熱通量測量值；及 基于所述一組測試熱通量測量值及經識別的所述熱通量-溫度變動關系調整所述一組測試溫度測量值。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人科磊股份有限公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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