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龍圖騰網獲悉捷捷微電(南通)科技有限公司申請的專利控制電路以及刻蝕真空系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119297066B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411366749.8，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權控制電路以及刻蝕真空系統是由宗亮亮;呂明;李文通;胡冬華設計研發完成，并于2024-09-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本控制電路以及刻蝕真空系統在說明書摘要公布了：本申請提供了一種控制電路以及刻蝕真空系統，其中，該控制電路，包括：電源模塊、互鎖控制模塊以及開關模塊；互鎖控制模塊包括：供電控制單元以及連接控制單元；連接控制單元的輸出端分別與等離子刻蝕機的入口載鎖以及等離子刻蝕機的出口載鎖連接；供電控制單元用于在開關模塊導通時上電，并向連接控制單元發出電磁信號；連接控制單元用于在電磁信號的作用下，在連接控制單元的輸出端與入口載鎖以及等離子刻蝕機的真空抽取裝置之間形成回路，以將入口載鎖與等離子刻蝕機的真空抽取裝置導通，且將出口載鎖與等離子刻蝕機的真空抽取裝置斷開。本申請能夠對等離子刻蝕機的真空抽取過程進行控制，從而有效避免了大氣回灌現象的產生。

本發明授權控制電路以及刻蝕真空系統在權利要求書中公布了：1.一種控制電路，其特征在于，包括：電源模塊、互鎖控制模塊以及開關模塊； 所述互鎖控制模塊包括：供電控制單元以及連接控制單元； 所述電源模塊的第一輸出端與所述供電控制單元的第一端連接，所述電源模塊的第二輸出端與所述開關模塊的輸入端連接，所述開關模塊的輸出端與所述供電控制單元的第二端連接； 所述連接控制單元的輸出端分別與等離子刻蝕機的入口載鎖以及等離子刻蝕機的出口載鎖連接； 所述供電控制單元用于在所述開關模塊導通時上電，并向所述連接控制單元發出電磁信號； 所述連接控制單元用于在所述電磁信號的作用下，在所述連接控制單元的輸出端與所述入口載鎖以及所述等離子刻蝕機的真空抽取裝置之間形成回路，以將所述入口載鎖與所述等離子刻蝕機的真空抽取裝置導通，且將所述出口載鎖與所述等離子刻蝕機的真空抽取裝置斷開； 或者，在所述連接控制單元的輸出端與所述出口載鎖以及所述等離子刻蝕機的真空抽取裝置之間形成回路，以將所述出口載鎖與所述等離子刻蝕機的真空抽取裝置導通，且將所述入口載鎖與所述等離子刻蝕機的真空抽取裝置斷開。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人捷捷微電(南通)科技有限公司，其通訊地址為：226000 江蘇省南通市崇川區蘇錫通科技產業園區井岡山路1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。