上海優睿譜半導體設備有限公司孫劍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海優睿譜半導體設備有限公司申請的專利一種基于多通道C掃描的晶圓檢測?法及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120427748B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510919488.6，技術領域涉及：G01N29/06；該發明授權一種基于多通道C掃描的晶圓檢測?法及系統是由孫劍;余先育;唐德明;張興華設計研發完成，并于2025-07-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基于多通道C掃描的晶圓檢測?法及系統在說明書摘要公布了：本發明提供了一種基于多通道C掃描的晶圓檢測方法及系統，旨在解決傳統系統中多通道靈敏度差異、Z軸高度偏差及拼接偽影等問題。檢測前選取標準片最大缺陷點與無缺陷點，調節各通道增益至統一幅值并記錄回波幅度，實現靈敏度校準；檢測中利用激光位移傳感器實時采集晶圓表面高度數據，結合ARIMA+Kalman濾波或高斯過程回歸算法建模，通過PID反饋動態調節Z軸聚焦距離，補償表面翹曲導致的信號衰減；圖像拼接時，采用線性自適應、Gamma自適應（基準γ設定后自動對齊通道均值）及手動設定三種灰度映射方式優化通道響應，基于二維互相關函數計算亞像素級偏移量實現坐標對齊，并在通道交界處設置5%重疊區域，通過線性漸變權重加權平均完成灰度過渡。
本發明授權一種基于多通道C掃描的晶圓檢測?法及系統在權利要求書中公布了：1.一種基于多通道C掃描的晶圓檢測方法，其特征在于，包括： 通過確定各通道最大回波幅度，依次調節各通道的增益到指定幅值； 在開始掃描后，通過建立各通道預梯度曲線，結合各通道實際曲線得到Z軸調節補償量，根據Z軸調節補償量動態調節Z軸高度，并得到各通道的掃描結果； 針對各通道的掃描結果進行灰度一致性優化；以及 通過各通道的掃描結果最小缺陷區域的缺陷圖像得到各通道間的拼接偏移量，并根據拼接偏移量進行拼接坐標對齊。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海優睿譜半導體設備有限公司，其通訊地址為：201210 上海市浦東新區盛夏路570號1幢402室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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