天通瑞宏科技有限公司陸斌杰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉天通瑞宏科技有限公司申請的專利一種鍵合晶圓解鍵合方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120565434B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202511045532.1，技術領域涉及：H01L21/60；該發明授權一種鍵合晶圓解鍵合方法是由陸斌杰;歸歡煥;徐劍峰;傅瀧塬設計研發完成，并于2025-07-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種鍵合晶圓解鍵合方法在說明書摘要公布了：本申請涉及半導體技術領域，具體涉及一種鍵合晶圓解鍵合方法，包括：提供鍵合晶圓，所述鍵合晶圓包括第一晶圓和第二晶圓，所述第一晶圓采用壓電材料；第一晶圓表面具有工作區以及圍繞所述工作區的邊緣區；在第一晶圓背離第二晶圓一側的邊緣區制備電極；對電極施加交變電壓，所述第一晶圓在交變電壓下產生周期性振動，以從所述第一晶圓與第二晶圓鍵合面邊緣通過周期性振動使結合力失效；停止施加交變電壓，分離所述第一晶圓與所述第二晶圓。本申請能夠通過外部電激勵產生振動模態，實現非接觸、低損傷、且高效的物理解鍵合，有效提升解鍵合的工藝質量。
本發明授權一種鍵合晶圓解鍵合方法在權利要求書中公布了：1.一種鍵合晶圓解鍵合方法，其特征在于，包括： 提供鍵合晶圓，所述鍵合晶圓包括第一晶圓（100）和第二晶圓（101），所述第一晶圓（100）采用壓電材料；第一晶圓（100）表面具有工作區（102）以及圍繞所述工作區（102）的邊緣區（103）； 在第一晶圓（100）背離第二晶圓（101）一側的邊緣區（103）制備電極（104）； 對電極（104）施加交變電壓，所述第一晶圓（100）在交變電壓下產生周期性振動，以從所述第一晶圓（100）與第二晶圓（101）鍵合面邊緣通過周期性振動使結合力失效； 停止施加交變電壓，分離所述第一晶圓（100）與所述第二晶圓（101）。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人天通瑞宏科技有限公司，其通訊地址為：314499 浙江省嘉興市海寧市海昌街道谷水路306號1幢(東)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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