中科芯微智能裝備(沈陽)有限公司常志勇獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉中科芯微智能裝備(沈陽)有限公司申請的專利一種連桿型真空機械手獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN120572561B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202511086377.8,技術(shù)領(lǐng)域涉及:B25J17/02;該發(fā)明授權(quán)一種連桿型真空機械手是由常志勇;董宏達;侯雙明;孟君燕設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-08-05向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種連桿型真空機械手在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種連桿型真空機械手,涉及晶圓輸送領(lǐng)域,包括:兩個相鄰且能夠獨立轉(zhuǎn)動的末端執(zhí)行部;約束組件,包括至少兩個沿第二方向間隔分布且相對設(shè)置的約束帶,每個所述約束帶的一端以不可活動方式連接于其中一個所述約束面的近側(cè)端,另一端以可活動方式連接于另一個所述約束面的遠側(cè)端;當?shù)谝蛔藨B(tài)切換至第二姿態(tài)時,約束面的可活動連接側(cè)端產(chǎn)生適應(yīng)性轉(zhuǎn)動,以維持所述約束帶對所述末端執(zhí)行部的約束力。采用上述方案,約束組件通過兩條相互交叉設(shè)置的約束帶構(gòu)建出一種“類樞轉(zhuǎn)”結(jié)構(gòu),使相鄰的末端執(zhí)行部在實現(xiàn)相對擺動的同時具備柔性緩沖功能,顯著提高整體設(shè)備的動態(tài)穩(wěn)定性和晶圓搬運的傳送精度。
本發(fā)明授權(quán)一種連桿型真空機械手在權(quán)利要求書中公布了:1.一種連桿型真空機械手,包括本體(1)及樞轉(zhuǎn)連接于所述本體(1)的手臂(2),其特征在于,還包括: 兩個相鄰且能夠獨立轉(zhuǎn)動的末端執(zhí)行部(232),所述末端執(zhí)行部(232)設(shè)置在所述手臂(2)上并沿第一方向往復(fù)運動形成移動路徑,兩個所述末端執(zhí)行部(232)彼此相對的面為約束面,所述約束面具有近側(cè)端和遠側(cè)端; 約束組件(3),包括至少兩個沿第二方向間隔分布且相對設(shè)置的約束帶,每個所述約束帶的一端以不可活動方式連接于其中一個所述約束面的近側(cè)端,另一端以可活動方式連接于另一個所述約束面的遠側(cè)端,所述約束帶包括第一彎曲部(311)及自第一彎曲部(311)端部延伸的第二彎曲部(312),所述第一彎曲部(311)與第二彎曲部(312)的曲率方向相反,所述第一彎曲部(311)與所述第二彎曲部(312)分別抵接在相對的兩個約束面; 其中,所述手臂(2)具有第一姿態(tài)和第二姿態(tài),當自所述第一姿態(tài)切換至所述第二姿態(tài)時,所述第一彎曲部(311)和所述第二彎曲部(312)各自與所述約束面的接觸面積發(fā)生變化,且所述約束面的可活動連接側(cè)端產(chǎn)生適應(yīng)性轉(zhuǎn)動,以維持所述約束帶對所述末端執(zhí)行部的約束力。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人中科芯微智能裝備(沈陽)有限公司,其通訊地址為:110027 遼寧省沈陽市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)十三號路77-38-B號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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