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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所申請(qǐng)的專利一種短脈沖曝光裝置及方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN111505033B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202010484508.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N23/20008；該發(fā)明授權(quán)一種短脈沖曝光裝置及方法是由默廣;周愛(ài)玉;吳忠華;邢雪青;李志宏;姚磊;陳中軍;鄭黎榮;施展設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-06-01向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種短脈沖曝光裝置及方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種短脈沖曝光裝置及方法，所述裝置包括第一快門機(jī)構(gòu)、第二快門機(jī)構(gòu)、主控制器、光電二極管以及探測(cè)器，第一快門機(jī)構(gòu)的信號(hào)輸入接口與主控制器的第一IO口連接，第二快門機(jī)構(gòu)的信號(hào)輸入接口與主控制器的第二IO口連接；第一快門機(jī)構(gòu)、第二快門機(jī)構(gòu)以及樣品依次間隔平行布置，樣品正對(duì)所述第一快門機(jī)構(gòu)和第二快門機(jī)構(gòu)的中心；光電二極管與樣品平行且有間距，光電二極管與主控制器的第三IO口連接，探測(cè)器的控制信號(hào)輸入端口與主控制器的第三IO口連接；射線垂直于第一快門機(jī)構(gòu)且從第一快門機(jī)構(gòu)中心入射；本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于：能夠?qū)崿F(xiàn)短于單快門最短允許開(kāi)啟時(shí)間的脈沖曝光。

本發(fā)明授權(quán)一種短脈沖曝光裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種短脈沖曝光裝置，其特征在于，包括第一快門機(jī)構(gòu)、第二快門機(jī)構(gòu)、主控制器、光電二極管以及探測(cè)器，所述第一快門機(jī)構(gòu)的信號(hào)輸入接口與主控制器的第一IO口連接，所述第二快門機(jī)構(gòu)的信號(hào)輸入接口與主控制器的第二IO口連接；所述第一快門機(jī)構(gòu)、第二快門機(jī)構(gòu)以及樣品依次間隔平行布置，所述樣品正對(duì)所述第一快門機(jī)構(gòu)和第二快門機(jī)構(gòu)的中心；所述光電二極管與樣品平行且有間距，光電二極管與主控制器的第三IO口連接，探測(cè)器的信號(hào)輸入端口與主控制器的第三IO口連接；射線垂直于第一快門機(jī)構(gòu)且從第一快門機(jī)構(gòu)中心入射，所述第二快門機(jī)構(gòu)相對(duì)第一快門機(jī)構(gòu)延時(shí)第一預(yù)設(shè)時(shí)間間隔以后開(kāi)啟； 所述主控制器集成信號(hào)發(fā)生器、第一延遲器、電壓比較器以及第二延遲器，所述信號(hào)發(fā)生器的一個(gè)輸出端口作為主控制器的第一IO口與第一快門機(jī)構(gòu)的信號(hào)輸入接口連接，信號(hào)發(fā)生器的另一個(gè)輸出端口通過(guò)第一延遲器與第二快門機(jī)構(gòu)的信號(hào)輸入接口連接，第一延遲器與第二快門機(jī)構(gòu)的信號(hào)輸入接口的連接端作為主控制器的第二IO口，電壓比較器的同相端與第一快門機(jī)構(gòu)的信號(hào)輸入接口連接，電壓比較器的反相端與第二快門機(jī)構(gòu)的信號(hào)輸入接口連接，電壓比較器的輸出端與第二延遲器連接，光電二極管以及探測(cè)器的控制信號(hào)輸入端口均與第二延遲器連接，第二延遲器與光電二極管以及探測(cè)器的連接端作為主控制器的第三IO口； 若曝光時(shí)間為毫秒級(jí)且曝光時(shí)間小于快門機(jī)構(gòu)的最短開(kāi)啟時(shí)間，則主控制器先給第一快門機(jī)構(gòu)輸入高電平信號(hào)，信號(hào)持續(xù)時(shí)間為第一快門機(jī)構(gòu)最短開(kāi)啟時(shí)間，延遲第一預(yù)設(shè)時(shí)間間隔后主控制器給第二快門機(jī)構(gòu)輸入高電平信號(hào)，信號(hào)持續(xù)時(shí)間為第二快門機(jī)構(gòu)最短開(kāi)啟時(shí)間，兩快門機(jī)構(gòu)最短開(kāi)啟時(shí)間相同，在第一快門機(jī)構(gòu)和第二快門機(jī)構(gòu)同時(shí)打開(kāi)時(shí)射線才進(jìn)入設(shè)備，故測(cè)試時(shí)間縮短為最短開(kāi)啟時(shí)間與第一預(yù)設(shè)時(shí)間間隔的差值，延遲第二預(yù)設(shè)時(shí)間后主控制器的第三IO口接通，發(fā)出使光電二極管以及探測(cè)器工作的觸發(fā)信號(hào)，實(shí)現(xiàn)短脈沖探測(cè)，其中，第一預(yù)設(shè)時(shí)間間隔為快門機(jī)構(gòu)最短開(kāi)啟時(shí)間與曝光時(shí)間的差值。

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