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龍圖騰網(wǎng)獲悉ASM IP私人控股有限公司申請的專利立式批處理爐組件獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112309938B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010735942.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)立式批處理爐組件是由C.G.M.德里德設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-07-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本立式批處理爐組件在說明書摘要公布了：一種用于處理晶片的立式批處理爐組件，其包括盒操縱空間、晶片操縱空間以及分隔盒操縱空間和晶片操縱空間的內(nèi)壁。盒操縱空間設(shè)置有配置成存儲設(shè)置有多個晶片的多個晶片盒的盒存儲器。盒操縱空間還設(shè)置有配置成在盒儲存器和晶片傳送位置之間傳送晶片盒的盒操縱器。晶片操縱空間設(shè)置有配置成在晶片傳送位置的晶片盒與晶片舟傳送位置的晶片舟之間傳送晶片的晶片操縱器。內(nèi)壁在鄰近晶片傳送位置處設(shè)有晶片傳送開口，用于將晶片盒從該晶片傳動開口傳送或傳送到晶片傳送開口。盒存儲器包括兩個盒存儲轉(zhuǎn)盤。

本發(fā)明授權(quán)立式批處理爐組件在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于處理晶片的立式批處理爐組件（10），包括： 盒操縱空間（26），其設(shè)置有配置為存儲設(shè)置有多個晶片的多個晶片盒（16）的盒儲存器（14）以及配置為在所述盒儲存器（14）和晶片傳送位置（24）之間傳送晶片盒（16）的盒操縱器（28）； 晶片操縱空間（30），其設(shè)置有晶片操縱器（32），所述晶片操縱器（32）配置為在晶片傳送位置（24）中的晶片盒（16）和晶片舟傳送位置中的晶片舟之間傳送晶片； 內(nèi)壁（20），其分隔盒操縱空間（26）和晶片操縱空間（30）并在鄰近晶片盒（16）的晶片傳送位置（24）處設(shè)置有晶片傳送開口（22），用于將晶片盒（16）從所述晶片傳送開口（22）傳送或傳送到所述晶片傳送開口（22）， 其中，所述盒儲存器（14）包括兩個盒存儲轉(zhuǎn)盤（18）, 其中，所述兩個盒存儲轉(zhuǎn)盤（18）懸于所述內(nèi)壁（20）和所述晶片操縱空間（30）之上；且 所述立式批處理爐組件具有可移除的頂蓋（46），所述頂蓋（46）封閉所述立式批處理爐組件（10）的頂壁（82）中的頂部開口（80），晶片盒（16）延伸通過所述頂部開口（80），所述晶片盒（16）被放置在兩個盒存儲轉(zhuǎn)盤（18）中的至少一個盒存儲轉(zhuǎn)盤（18）的頂部平臺（70）處。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人ASM IP私人控股有限公司，其通訊地址為：荷蘭阿爾梅勒；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。