株式會社斯庫林集團鰍場真樹獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利基板處理方法及基板處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114342048B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080061195.4，技術領域涉及：H01L21/3105；該發明授權基板處理方法及基板處理裝置是由鰍場真樹;村元僚;宗德皓太;難波敏光;吉原直彥設計研發完成，并于2020-08-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理方法及基板處理裝置在說明書摘要公布了：保持有具有第1面及與第1面相反的第2面的基板。在基板的第2面上配置有被加壓的臭氧水。臭氧水在用以進行基板的處理的使用點被加熱。
本發明授權基板處理方法及基板處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板處理方法，具備： 保持具有第1面及與上述第1面相反的第2面的基板的步驟； 在所述基板的所述第2面上配置被加壓的臭氧水的步驟； 在用以進行所述基板的處理的使用點對所述臭氧水進行加熱的步驟；以及 配置壓力保持部的步驟，所述壓力保持部具有隔開間隔地與所述基板的所述第2面的至少一部分相對的相對面， 所述使用點為所述壓力保持部的內部的所述臭氧水中與所述基板的所述第2面接觸的部分， 配置所述臭氧水的步驟包含對所述基板的所述第2面的至少一部分與所述壓力保持部的所述相對面之間供給所述臭氧水的步驟， 所述壓力保持部包含： 主體部，其隔開間隔地與所述基板的所述第2面相對；以及 翼部，其配置于所述主體部的邊緣，從所述主體部朝向所述基板的所述第2面延伸，并與所述基板的所述第2面相對， 所述翼部隔開間隙長HG地與所述基板的所述第2面相對，且具有內周長LI的筒形狀， 所述壓力保持部包含向所述基板的所述第2面與所述主體部之間供給所述臭氧水且具有截面積SC的供給部， 并滿足SC＞LI×HG。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都府；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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