納美仕有限公司帕維爾·丘巴羅獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)獲悉納美仕有限公司申請的專利感光性樹脂組合物、其固化物、以及含有其固化物的布線結構體獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN115917433B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202180043950.0,技術領域涉及:G03F7/027;該發(fā)明授權感光性樹脂組合物、其固化物、以及含有其固化物的布線結構體是由帕維爾·丘巴羅;大友政義;艾爾瑪·尤蘭達·卡珀利斯;尼古拉斯·查爾斯·卡拉斯科;弗蘭克·安東尼·萊蒂薩三世;佐藤敏行設計研發(fā)完成,并于2021-06-07向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本感光性樹脂組合物、其固化物、以及含有其固化物的布線結構體在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供了感光性樹脂組合物、其固化物、以及含有其固化物的布線結構體、電子部件、半導體裝置和相機模塊。該感光性樹脂組合物不是通過高溫下的熱處理進行固化,而是通過活性能量線的照射進行固化。在該感光性樹脂組合物中,顯影工序后的膜減少會被抑制。進一步地,通過光刻可以精確地形成微細圖案。本發(fā)明的一個方面涉及感光性樹脂組合物、其固化物、以及含有其固化物的布線結構體、電子部件、半導體裝置和相機模塊,其中,所述感光性樹脂組合物包含成分A~C:A式1和式2所示的改性聚苯醚、B式3所示的倍半硅氧烷化合物、以及C光聚合引發(fā)劑。
本發(fā)明授權感光性樹脂組合物、其固化物、以及含有其固化物的布線結構體在權利要求書中公布了:1.一種感光性樹脂組合物,所述感光性樹脂組合物包含下述成分A~C: A下述式1所示的改性聚苯醚樹脂: [化12] 式中,R1~R3各自獨立地表示氫原子、烷基、烯基或炔基, X表示q價的未取代或取代芳香族烴基, Y表示下述式2所示的未取代或取代苯酚重復單元: [化13] 式中,R4~R7各自獨立地表示氫原子、烷基、烯基、炔基或烯基羰基; m表示1~100的整數(shù), n表示1~6的整數(shù), q表示1~4的整數(shù); B下述式3所示的化合物: [化14] 以及, C光聚合引發(fā)劑; 相對于所述感光性樹脂組合物100質(zhì)量%,所述成分A的含量為30.0質(zhì)量%~98.0質(zhì)量%,所述成分B的含量為1.0質(zhì)量%~60.0質(zhì)量%。
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