環晟光伏(江蘇)有限公司王振剛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉環晟光伏(江蘇)有限公司申請的專利一種Topcon電池鈍化結構的制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115692544B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110857270.4,技術領域涉及:H10F71/00;該發明授權一種Topcon電池鈍化結構的制備方法是由王振剛;宋楠;郁寅瓏;俞超設計研發完成,并于2021-07-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種Topcon電池鈍化結構的制備方法在說明書摘要公布了:本發明提供一種Topcon電池鈍化結構的制備方法,包括:對N型晶體硅基體分別做制絨、硼擴和刻蝕清洗處理;在所述N型晶體硅基體的表面生長一氧化硅遂穿層;在所述氧化硅遂穿層上沉積一非晶硅層,沉積至部分預設厚度時,向所述非晶硅層進行重磷摻雜;沉積剩余所述預設厚度時,對所述非晶硅層進行輕磷摻雜,然后進行退火;退火后的所述N型晶體硅基體表面鈍化,然后對其金屬化制成電池。本發明的有益效果是通過不同工藝厚度調整通入磷烷的量,控制摻雜磷在非晶硅層中的濃度梯度,低溫退火,減少磷在硅中的擴散速度,保持濃度差異,從而實現隧穿層附近富集高濃度的磷有利于隧穿,多晶硅層中的磷濃度低于隧穿層附近的效果,減少俄歇復合和寄生吸收。
本發明授權一種Topcon電池鈍化結構的制備方法在權利要求書中公布了:1.一種Topcon電池鈍化結構的制備方法,包括: 對N型晶體硅基體分別做制絨、硼擴和刻蝕清洗處理; 在處理后的所述N型晶體硅基體的表面生長一氧化硅遂穿層; 在所述氧化硅遂穿層上沉積一非晶硅層,所述非晶硅層的預設厚度為50-200nm;沉積至所述預設厚度的20-30%時,向所述非晶硅層進行重磷摻雜;沉積剩余所述預設厚度時,對所述非晶硅層進行輕磷摻雜; 對摻雜過后的所述N型晶體硅基體進行退火,退火的溫度為800-860℃; 退火后的所述N型晶體硅基體表面鈍化,然后對其金屬化制成電池。
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