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龍圖騰網獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利緊固構造、等離子體處理裝置以及緊固方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114373666B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202111170300.0，技術領域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權緊固構造、等離子體處理裝置以及緊固方法是由阿部純一;山田洋平設計研發(fā)完成，并于2021-10-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本緊固構造、等離子體處理裝置以及緊固方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及緊固構造、等離子體處理裝置以及緊固方法。在利用緊固螺紋件將構成基板處理裝置的構件彼此緊固的緊固構造中，使緊固螺紋件不產生松動。一種緊固構造，其對構成基板處理裝置的第1構件和第2構件進行緊固，其中，第1構件具有內螺紋部，第2構件具有與內螺紋部對應的貫通孔和與該貫通孔連續(xù)并具有比貫通孔的直徑大的直徑的沉孔部，該緊固構造包括：緊固螺紋件，其具有貫穿于貫通孔并與內螺紋部螺紋結合的外螺紋部和與該外螺紋部的端部連續(xù)的螺紋件頭部；以及平墊圈，其嵌合于沉孔部，供外螺紋部貫穿，至少螺紋件頭部的與平墊圈相對的第1面和平墊圈的與螺紋件頭部相對的第2面中的任一者或兩者利用潤滑材料覆蓋。

本發(fā)明授權緊固構造、等離子體處理裝置以及緊固方法在權利要求書中公布了：1.一種緊固構造，其對構成基板處理裝置的第1構件和第2構件進行緊固，其中， 所述第1構件具有內螺紋部， 所述第2構件具有與所述內螺紋部對應的貫通孔和與該貫通孔連續(xù)并具有比所述貫通孔的直徑大的直徑的沉孔部， 該緊固構造包括： 緊固螺紋件，其具有貫穿于所述貫通孔并與所述內螺紋部螺紋結合的外螺紋部和與該外螺紋部的端部連續(xù)的螺紋件頭部；以及 平墊圈，其具有嵌合于所述沉孔部的外徑，并且具有供所述外螺紋部貫穿的孔， 至少在所述螺紋件頭部的與所述平墊圈相對的第1面和所述平墊圈的與所述螺紋件頭部相對的第2面中的任一者或兩者上形成有利用潤滑材料的覆蓋，所述第1面和所述第2面經由所述覆蓋接觸， 其中，所述內螺紋部與所述貫通孔以及所述沉孔部之間的相對的位置在所述基板處理裝置的基板處理時和該基板處理時以外時不同， 所述平墊圈的供所述外螺紋部貫穿的孔的直徑設定為，在該平墊圈相對于所述內螺紋部相對地移動時，該平墊圈與所述緊固螺紋件的外螺紋部不發(fā)生碰撞。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創(chuàng)株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。