細美事有限公司嚴成勛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉細美事有限公司申請的專利基板處理裝置及處理方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115742565B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210595900.X,技術領域涉及:B41J2/01;該發明授權基板處理裝置及處理方法是由嚴成勛;李晟豪;張柱鏞設計研發完成,并于2022-05-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理裝置及處理方法在說明書摘要公布了:本發明提供一種改善了操作性的基板處理裝置,該基板處理裝置,包括:第一槽,儲存清洗液,在上表面形成有第一開口部;以及第一超聲波振蕩器,設置在所述第一槽內,并且朝向通過所述第一開口部而露出的所述清洗液的表面提供超聲波并在所述清洗液的表面形成突出的水膜,基板不被浸漬于所述槽中,所述基板的一個面與所述第一開口部相鄰地配置,通過所述水膜清洗來所述基板的一個面。
本發明授權基板處理裝置及處理方法在權利要求書中公布了:1.一種基板處理裝置,包括: 第一槽,儲存清洗液,在上表面形成有第一開口部;以及 第一超聲波振蕩器,設置在所述第一槽內,并且朝向通過所述第一開口部而露出的所述清洗液的表面提供超聲波,在所述清洗液的表面形成突出的水膜, 基板不被浸漬于所述第一槽中,所述基板的一個面與所述第一開口部相鄰地配置,通過所述水膜來清洗所述基板的一個面, 所述基板從第一側向第二側移動, 位于所述第一側的所述第一槽的第一側壁的第一高度低于位于所述第二側的所述第一槽的第二側壁的第二高度, 向所述第一槽內供給清洗液的供給口設置在所述第二側壁, 從所述第一槽排出清洗液的排出口設置在所述第一側壁。
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