浙江海納半導體股份有限公司吳雄杰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江海納半導體股份有限公司申請的專利一種高效的硅片夾取轉移裝置及其轉移方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115050688B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210731190.9,技術領域涉及:H01L21/687;該發明授權一種高效的硅片夾取轉移裝置及其轉移方法是由吳雄杰;潘金平;肖世豪;沈益軍;饒偉星;張立安;肖春柳;馮小娟;蘇文霞;白超設計研發完成,并于2022-06-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種高效的硅片夾取轉移裝置及其轉移方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種高效的硅片夾取轉移裝置及其轉移方法,包括第一部件、第二部件、第三部件和第四部件,所述第一部件包括安裝片,所述安裝片的一端一體化成型有凸起塊,所述凸起塊與安裝片表面之間形成弧形溝,所述安裝片的上部表面開設有方孔,所述第二部件包括手柄和固定塊,所述手柄的一端安裝有固定塊,所述固定塊的底部表面依次均勻開設有安裝槽,且安裝槽的厚度與安裝片表面厚度相匹配,所述安裝片的一端插接至固定塊上的安裝槽處。本發明能夠一次性夾取整籃硅片,有效提高轉移效率,檢查轉移完成后的硅片表面,沒有沾污發生,有效保證產品的質量。
本發明授權一種高效的硅片夾取轉移裝置及其轉移方法在權利要求書中公布了:1.一種高效的硅片夾取轉移裝置,包括第一部件(1)、第二部件(2)、第三部件(3)和第四部件(4),其特征在于:所述第一部件(1)包括安裝片(101),所述安裝片(101)的一端一體化成型有凸起塊(102),所述凸起塊(102)與安裝片(101)表面之間形成弧形溝,所述安裝片(101)的上部表面開設有方孔(103),所述第二部件(2)包括手柄(201)和固定塊(202),所述手柄(201)的一端安裝有固定塊(202),所述固定塊(202)的底部表面依次均勻開設有安裝槽,且安裝槽的厚度與安裝片(101)表面厚度相匹配,所述安裝片(101)的一端插接至固定塊(202)上的安裝槽處; 所述第四部件(4)包括U型架(401),所述U型架(401)固定在固定塊(202)的頂部表面,所述U型架(401)的兩端對稱式開設有安裝孔(402),所述U型架(401)上安裝有可調節的第三部件(3); 所述第三部件(3)包括下壓柄(301)、柱形銷(302)、壓條(303)和限位槽(304),所述下壓柄(301)的表面設有柱形銷(302),所述柱形銷(302)活動安裝至U型架(401)的安裝孔(402)處,所述下壓柄(301)的端部安裝有壓條(303),所述壓條(303)在與安裝片(101)相對應位置的表面開設有限位槽(304),所述限位槽(304)為弧面向下的圓弧,且圓弧直徑為100-200mm。
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