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龍圖騰網獲悉中山大學申請的專利基于納米多晶氮化硼的超快高效電子探測器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119965069B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510113597.9，技術領域涉及：H01J37/244；該發明授權基于納米多晶氮化硼的超快高效電子探測器是由鄭偉;朱思琪設計研發完成，并于2025-01-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本基于納米多晶氮化硼的超快高效電子探測器在說明書摘要公布了：本發明涉及電子探測器領域，公開了一種基于納米多晶氮化硼的超快高效電子探測器，包括納米多晶氮化硼閃爍體、光導、以及光電倍增管，所述納米多晶氮化硼閃爍體和光電倍增管分別與光導的前端和后端連接,其中,所述納米多晶氮化硼閃爍體的納米多晶氮化硼材料是以藍寶石單晶片作為襯底，使用NH3和BCl3、或NH3和BF3作為原料氣體，采用化學氣相沉積爐進行外延生長制得的。本發明中，納米多晶氮化硼閃爍體具有短電子衰減時間和高閃爍光產額，應用于電子探測器中可以實現超快高效的電子輻射探測。本發明的電子探測器可應用于電子束檢測系統中的二次電子和背散射電子探測，為電子束檢測技術提供了新的選擇。

本發明授權基于納米多晶氮化硼的超快高效電子探測器在權利要求書中公布了：1.一種基于納米多晶氮化硼的超快高效電子探測器，其特征在于，包括納米多晶氮化硼閃爍體1、光導2、以及光電倍增管3，所述納米多晶氮化硼閃爍體1和光電倍增管3分別與光導2的前端和后端連接；其中， 所述納米多晶氮化硼閃爍體1，用于接收電子輻照，并在電子激發下利用其納米多晶結構的載流子限域效應產生納秒級超快高亮度的閃爍發光； 所述納米多晶氮化硼閃爍體1的納米多晶氮化硼的材料是以藍寶石單晶片作為襯底，使用NH3和BCl3、或NH3和BF3作為原料氣體，采用垂直式化學氣相沉積爐進行外延生長制得的； 所述光導2，用于將閃爍光傳輸至光電倍增管3； 所述光電倍增管3，用于接收經所述光導2傳輸的閃爍光并記錄光子信息； 所述納米多晶氮化硼閃爍體1由以下制備方法制得，所述制備方法包括以下步驟： S1、選擇與氮化硼晶格匹配度低的藍寶石單晶作為襯底，并選取易于形核的鋁極性面作為生長面； S2、使用石墨夾具固定襯底，并將石墨夾具與襯底一并放入垂直式化學氣相沉積爐內，抽真空后采用側向加熱至反應溫度； S3、爐內通入NH3和BCl3、或NH3和BF3原料氣體，使用N2作為載氣； S4、通氣后保持氣體流量不變，并保持溫度不變；最后斷電冷卻，氮化硼藍寶石隨爐冷卻室溫出爐，氮化硼自動脫落，得到納米多晶氮化硼材料； S5、根據探測器需求將納米多晶氮化硼材料裁剪為預設尺寸，制得納米多晶氮化硼閃爍體。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中山大學，其通訊地址為：510275 廣東省廣州市海珠區新港西路135號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。