西安交通大學白冰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉西安交通大學申請的專利抗干擾高靈敏度集成式石英諧振加速度計芯片結構獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120352644B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510581290.1,技術領域涉及:G01P15/09;該發明授權抗干擾高靈敏度集成式石英諧振加速度計芯片結構是由白冰;趙玉龍;李村;李波;艾嘉賓;薛閎;卜凱;支點設計研發完成,并于2025-05-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本抗干擾高靈敏度集成式石英諧振加速度計芯片結構在說明書摘要公布了:一種抗干擾高靈敏度集成式石英諧振加速度計芯片結構,包括擺組平臺,擺組平臺上方連接上擺組件,擺組平臺下方連接下擺組件;上擺組件和下擺組件結構組成完全相同,上擺組件和下擺組件關于擺組平臺對稱布置;上擺組件包括通過膠裝配固定的一個石英諧振器和一個金屬擺;本發明上擺組件、下擺組件均采用金屬擺?石英諧振器通過貼裝完成裝配,并與擺組平臺完成對準裝配,形成“三明治”芯片結構,慣性質量塊的質量翻倍,提升了加速度計的靈敏度;在金屬擺中設計有環形應力隔離槽和雙“C”應力隔離槽,降低了裝配殘余應力、外界干擾應力、干擾熱應力等復雜干擾因素對石英諧振器軸向應力的影響,抑制了溫漂和時漂,提升了長期穩定性。
本發明授權抗干擾高靈敏度集成式石英諧振加速度計芯片結構在權利要求書中公布了:1.一種抗干擾高靈敏度集成式石英諧振加速度計芯片結構,包括擺組平臺,其特征在于:擺組平臺上方連接上擺組件,擺組平臺下方連接下擺組件;上擺組件和下擺組件結構組成完全相同,上擺組件和下擺組件關于擺組平臺對稱布置; 所述的上擺組件包括通過膠裝配的一個石英諧振器和一個金屬擺;所述的石英諧振器包括雙端固支音叉結構及其兩端連接的上固定盤和下固定盤; 所述的金屬擺包括雙“C”應力隔離槽、環形應力隔離槽、第一石英諧振器輔助對準槽、振梁懸空槽、鉸鏈、第一裝配對準槽、質量塊隔離槽、錨固盤、慣性質量塊和第二石英諧振器輔助對準槽; 所述的環形應力隔離槽關于金屬擺部分結構俯視豎對稱軸對稱設置,環形結構的圓心與整個金屬擺結構的圓心重合,環形應力隔離槽與質量塊隔離槽相連通,使雙“C”應力隔離槽、鉸鏈、慣性質量塊處于懸空狀態; 所述的雙“C”應力隔離槽的兩個“C”形隔離槽處于相扣狀態布置,在雙“C”應力隔離槽的內槽上設置有第一石英諧振器輔助對準槽,雙“C”應力隔離槽內部及下部布置有振梁懸空槽,在金屬擺的正面和背面均設置有振梁懸空槽; 所述的鉸鏈關于金屬擺部分結構俯視豎對稱軸對稱設置,其截面形狀與兩個相同圓的鉸鏈結構剖面輪廓線部分重合,且關于鉸鏈結構剖面豎對稱軸和鉸鏈結構剖面橫對稱軸對稱,鉸鏈的一端與雙“C”應力隔離槽的下部分金屬擺連接,另一端與慣性質量塊連接; 所述的慣性質量塊關于金屬擺部分結構俯視豎對稱軸對稱,慣性質量塊上布置有第二石英諧振器輔助對準槽,配合雙“C”應力隔離槽中的第一石英諧振器輔助對準槽,完成石英諧振器與金屬擺的精確對準裝配,慣性質量塊與錨固盤通過質量塊隔離槽進行分離; 所述的錨固盤關于金屬擺部分結構俯視豎對稱軸對稱設置,其上布置有用于芯片結構裝配的第一裝配對準槽,第一裝配對準槽關于金屬擺部分結構俯視豎對稱軸呈對稱設置。
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