中科納微真空科技(合肥)有限公司郭江濤獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)獲悉中科納微真空科技(合肥)有限公司申請的專利一種磁控濺射鍍膜設備、旋轉陰極及在線可調磁棒獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN120210752B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202510691749.3,技術領域涉及:C23C14/35;該發(fā)明授權一種磁控濺射鍍膜設備、旋轉陰極及在線可調磁棒是由郭江濤;游錦山設計研發(fā)完成,并于2025-05-27向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本一種磁控濺射鍍膜設備、旋轉陰極及在線可調磁棒在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種磁控濺射鍍膜設備、旋轉陰極及在線可調磁棒,屬于磁控濺射鍍膜領域,磁鐵組件沿支撐梁的長度方向布置且可移動地與支撐梁連接,驅動組件與支撐梁連接用于調節(jié)磁鐵組件與支撐梁表面之間的距離。在遠離磁棒驅動端的支撐端內設置與支撐法蘭配合的支撐接頭,支撐接頭內部設有用于為驅動組件供電和或提供信號的電傳輸結構。通過磁棒支撐端內設置電傳輸結構,為磁棒內的驅動組件提供供電信號傳輸,無需改變驅動端驅動設計,并且將電傳輸與冷卻劑管路隔離,保證電傳輸安全性,從而無需停機即可實現(xiàn)磁棒的在線磁場調節(jié),保證在線可調磁棒長期使用的供電信號傳輸?shù)姆€(wěn)定性和可靠性。
本發(fā)明授權一種磁控濺射鍍膜設備、旋轉陰極及在線可調磁棒在權利要求書中公布了:1.一種在線可調磁棒,其特征在于,包括:支撐梁(101)、磁鐵組件(105)、至少一個驅動組件、驅動接頭(102)、支撐接頭(107)和支撐法蘭(109); 磁鐵組件(105)沿支撐梁(101)的長度方向布置且可移動地與支撐梁(101)連接,驅動組件與支撐梁(101)連接用于調節(jié)磁鐵組件(105)與支撐梁(101)表面之間的距離; 驅動接頭(102)和支撐接頭(107)分別位于支撐梁(101)兩端,支撐法蘭(109)中部設有安裝開口,支撐接頭(107)可轉動安裝在所述安裝開口處,支撐接頭(107)內部設有用于為驅動組件供電或供電及提供信號的電傳輸結構(10)。
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