萬華化學集團電子材料有限公司李國慶獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉萬華化學集團電子材料有限公司申請的專利一種拋光組合物及其應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120365857B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510857242.0，技術領域涉及：C09G1/02；該發明授權一種拋光組合物及其應用是由李國慶;王凱;衛旻嵩設計研發完成，并于2025-06-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種拋光組合物及其應用在說明書摘要公布了：本申請屬于化學機械拋光技術領域，具體涉及一種拋光組合物及其應用。本申請通過拋光組合物中各組分之間的配合，特別是硫代吡啶化合物與陰離子聚合物的配合，能夠顯著提升拋光效果，在實現對銅的高速去除的同時，有效避免凹陷發生。本申請中，拋光組合物可將銅氧化成CuOCu2O，所述硫代吡啶化合物所帶“氮、硫”元素可以與銅形成強配位，吸附在氧化的銅膜表面，所述陰離子聚合物可通過電荷作用吸附在銅膜表面，上述兩種物質，分別以不同的機理吸附在銅膜的表面，產生補強效應，可以抵抗拋光過程中的機械力對銅膜的破環力，從而達到抑制碟形凹陷發生的效果。
本發明授權一種拋光組合物及其應用在權利要求書中公布了：1.一種拋光組合物，其特征在于，所述拋光組合物包括研磨粒子、氧化劑、絡合劑、腐蝕抑制劑、硫代吡啶化合物、pH調節劑、陰離子聚合物和去離子水，其中，以所述拋光組合物的總質量計，所述硫代吡啶化合物的質量百分含量為0.001wt%-0.1wt%；所述陰離子聚合物的質量百分含量為0.001%-0.1wt%； 所述硫代吡啶化合物包括（4-硫代吡啶）乙酸、3-（2-吡啶二硫代）丙酸、吡啶-2-硫代酰胺、4-吡啶硫代乙酸鹽酸鹽、吡啶-3-硫代酰胺、2，6-二氯吡啶-4-硫代酰胺、2-吡啶二硫代氨基甲酸乙酯、2-乙基吡啶-4-硫代甲酰胺、2,2’-二硫代二吡啶、3-（甲硫基）吡啶、2-甲硫基吡啶、4,4’-二硫代聯吡啶中的至少一種。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人萬華化學集團電子材料有限公司，其通訊地址為：264000 山東省煙臺市開發區北京中路50號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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