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龍圖騰網(wǎng)獲悉江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司申請的專利半導(dǎo)體工件涂覆裝置及其控制方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120394281B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510925953.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B05C3/10；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體工件涂覆裝置及其控制方法是由請求不公布姓名設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-07向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體工件涂覆裝置及其控制方法在說明書摘要公布了：本申請涉及一種半導(dǎo)體工件涂覆裝置及其控制方法，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。包括：涂覆腔室，用于容納涂覆液；晶圓夾具，用于夾持晶圓并帶動晶圓浸入涂覆液；晶圓夾具包括第一姿態(tài)和第二姿態(tài)，第一姿態(tài)為晶圓逐漸浸入涂覆液的情況下夾具的姿態(tài)，第二姿態(tài)為晶圓全部浸入涂覆液的情況下夾具的姿態(tài)；在第一姿態(tài)下，晶圓底部的底面相對水平面傾斜設(shè)置，且晶圓具有第一端和高于第一端的第二端；在第二姿態(tài)下，底面平行于水平面；氣體排出組件，至少環(huán)繞設(shè)置于晶圓周向的部分區(qū)域，氣體排出組件具有若干出液口；氣體排出組件被配置為，涂覆液自若干出液口流出形成沿第一方向的橫向流場，第一方向?yàn)榈谝欢酥恋诙说姆较颉１旧暾埖募夹g(shù)方案，能提高涂覆質(zhì)量。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體工件涂覆裝置及其控制方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體工件涂覆裝置，其特征在于，包括： 涂覆腔室，用于容納涂覆液； 晶圓夾具，用于夾持晶圓并帶動所述晶圓浸入所述涂覆液；所述晶圓夾具包括第一姿態(tài)和第二姿態(tài)，所述第一姿態(tài)為所述晶圓逐漸浸入所述涂覆液的情況下所述夾具的姿態(tài)，所述第二姿態(tài)為所述晶圓全部浸入所述涂覆液的情況下所述夾具的姿態(tài)；在所述第一姿態(tài)下，所述晶圓底部的底面相對水平面傾斜設(shè)置，且所述晶圓具有第一端和高于所述第一端的第二端；在所述第二姿態(tài)下，所述底面平行于所述水平面； 氣體排出組件，至少環(huán)繞設(shè)置于所述晶圓周向的部分區(qū)域，所述氣體排出組件具有若干出液口；所述氣體排出組件被配置為，涂覆液自若干所述出液口流出形成沿第一方向的橫向流場，所述第一方向?yàn)樗龅谝欢酥了龅诙说姆较颍?所述氣體排出組件包括支撐部件和設(shè)置在所述支撐部件上的若干導(dǎo)向件，所述導(dǎo)向件在第一方向上延伸設(shè)置；若干所述出液口位于所述支撐部件上，所述出液口的一側(cè)或兩側(cè)配置有所述導(dǎo)向件；所述導(dǎo)向件從所述第一端至所述第二端從下往上傾斜設(shè)置，并包括多個間隔分布的導(dǎo)向條； 所述導(dǎo)向件還包括第一圍擋部和第二圍擋部，所述第一圍擋部從多個所述出液口的遠(yuǎn)離所述導(dǎo)向條的一端圍住所述出液口，以阻擋涂覆液向遠(yuǎn)離導(dǎo)向條的方向流動；所述第二圍擋部一端與所述第一圍擋部相接，另一端沿第一方向延伸；第二圍擋部和相鄰的導(dǎo)向條配合，引導(dǎo)邊緣的出液口流出的液體沿第一方向流動，從而形成沿第一方向的橫向流場。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)東吳南路25號城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢(2號廠房)1、2層；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。