中科寶溢視覺科技(江蘇)有限公司劉太龍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中科寶溢視覺科技(江蘇)有限公司申請的專利多層膜光學膜的檢測方法、裝置、設備及存儲介質獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120446009B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510936422.8,技術領域涉及:G01N21/21;該發明授權多層膜光學膜的檢測方法、裝置、設備及存儲介質是由劉太龍;張保平;楊光;紀諾設計研發完成,并于2025-07-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本多層膜光學膜的檢測方法、裝置、設備及存儲介質在說明書摘要公布了:本發明提供了一種多層膜光學膜的檢測方法、裝置、設備及存儲介質,該方法包括:通過多波段可編程激光源多角度入射照射,獲取透射光與反射光的偏振相位差信號并記錄偏振橢圓度參數變化;隨后結合共焦顯微干涉與偏振分析確定應力異常區的空間坐標與應力分布圖;再通過寬帶光源在光熱耦合環境下進行持續照射并監測干涉信號、偏振態與溫度變化,得到動態演變特征;最后在預設的光軸排列與光束能量分布的系統環境中對多層膜光學膜執行模擬測試,獲取原位偏振態和干涉圖數據并評估膜層光學性能。本發明能夠在較高分辨率下定位潛在缺陷并準確評估膜層在復雜應用條件下的可靠性與成像質量。
本發明授權多層膜光學膜的檢測方法、裝置、設備及存儲介質在權利要求書中公布了:1.一種多層膜光學膜的檢測方法,其特征在于,所述多層膜光學膜的檢測方法包括: 通過多波段可編程激光源對多層膜光學膜樣本進行多角度入射照射,獲得透射光與反射光的偏振相位差信號,根據所述偏振相位差信號記錄多層膜光學膜樣本的偏振橢圓度參數變化,得到光學偏振參數映射圖; 通過共焦顯微干涉裝置根據所述光學偏振參數映射圖,對多層膜光學膜進行形貌掃描,獲得膜層界面輪廓數據,并根據所述膜層界面輪廓數據結合偏振分析組件進行局部應力分析,得到應力異常區的空間坐標與應力分布圖; 通過寬帶光源根據所述空間坐標與應力分布圖,在預設的測試腔室內對多層膜光學膜進行持續照射,獲得干涉信號和偏振態數據,并根據所述干涉信號和偏振態數據結合紅外熱像采集應力異常區的溫度變化,得到對應的動態演變特征; 根據所述動態演變特征,通過預設的光軸排列與光束能量分布的系統環境對多層膜光學膜進行模擬測試,獲得原位偏振態和干涉圖數據,根據所述原位偏振態和干涉圖數據分析膜層光學性能,得到系統環境下的綜合評估結果。
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