江蘇旭邦光電科技有限公司殷建獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇旭邦光電科技有限公司申請的專利一種半導體用石英廢液瓶的節能型雙爐體真空燒結爐獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120521386B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202511026075.1,技術領域涉及:F27B5/05;該發明授權一種半導體用石英廢液瓶的節能型雙爐體真空燒結爐是由殷建;龐佳佳;周樂設計研發完成,并于2025-07-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體用石英廢液瓶的節能型雙爐體真空燒結爐在說明書摘要公布了:本發明涉及半導體加工技術領域,且公開了一種半導體用石英廢液瓶的節能型雙爐體真空燒結爐,包含保溫烘干爐和高溫燒結爐的嵌套結構,兩者間設旋轉烘干架,分別通過導軌驅動機構控制爐門開合,保溫烘干爐外覆陶瓷纖維保溫層,高溫燒結爐采用鉬合金內襯;真空泵組合實現高真空,爐門采用全氟醚橡膠三重密封,旋轉烘干架和燒結架分別配備石英舟,絲桿導軌驅動機構保障高精度定位,工作時,兩爐體協同運行,先在保溫烘干爐內完成廢液瓶烘干預熱,再轉移至高溫燒結爐燒結,真空夾層隔熱使能耗降低,雜質揮發率提高,有效實現石英廢液瓶的高效節能回收。
本發明授權一種半導體用石英廢液瓶的節能型雙爐體真空燒結爐在權利要求書中公布了:1.一種半導體用石英廢液瓶的節能型雙爐體真空燒結爐,其特征在于,包括:保溫烘干爐(1)和高溫燒結爐(2),所述保溫烘干爐(1)套設在高溫燒結爐(2)外側,所述高溫燒結爐(2)與保溫烘干爐(1)之間設置有旋轉烘干架(3),所述保溫烘干爐(1)通過管道連接有真空泵(4),所述旋轉烘干架(3)一側轉動連接有第一爐門(5),所述第一爐門(5)傳動連接有第一導軌驅動機構(6),所述高溫燒結爐(2)內設置有旋轉燒結架(7),所述高溫燒結爐(2)一側固定連接有第二爐門(9),所述第二爐門(9)傳動連接有第二導軌驅動機構(10)。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇旭邦光電科技有限公司,其通訊地址為:222000 江蘇省連云港市東??h經濟開發區廬山路8號廠區內4號廠房(東??h開發區東區廬山路東側、淮河路南側);或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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