東臺鐳創光電技術有限公司孔劍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東臺鐳創光電技術有限公司申請的專利一種晶圓夾持裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN110993555B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201911201117.5，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權一種晶圓夾持裝置是由孔劍;臧曉園;徐晨晨;劉景業設計研發完成，并于2019-11-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓夾持裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓夾持裝置，包括夾持臂、連接組件和至少三個晶圓夾鉤；所述夾持臂的側面設有吸氣口，所述夾持臂內部安裝有與所述吸氣口相連的抽氣機構；所述連接組件包括與所述夾持臂底部固接的豎軸、與所述豎軸垂直固接的橫軸以及設于所述橫軸外圍的圓環，所述圓環能夠以橫軸為中心轉動；所述晶圓夾鉤安裝于所述圓環且能夠相對圓環移動。本發明能夠高效夾取豎向或橫向放置的晶圓。
本發明授權一種晶圓夾持裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓夾持裝置，其特征在于，包括夾持臂、連接組件和至少三個晶圓夾鉤； 所述夾持臂的側面設有吸氣口，所述夾持臂內部安裝有與所述吸氣口相連的抽氣機構； 所述連接組件包括與所述夾持臂底部固接的豎軸、與所述豎軸垂直固接的橫軸以及設于所述橫軸外圍的圓環，所述圓環能夠以橫軸為中心轉動； 所述晶圓夾鉤安裝于所述圓環且能夠相對圓環移動； 所述晶圓夾鉤包括固定連接的套環、連桿、旋轉軸以及與旋轉軸轉動相連的鉤體； 所述晶圓夾鉤還包括用于固定所述旋轉軸和所述鉤體的固定鎖，所述固定鎖包括轉桿以及通過轉桿形成轉動連接的固定塊和卡塊，所述卡塊端部設有能夠與所述旋轉軸卡合的卡槽； 所述夾持臂相對所述吸氣口的一側面設有能夠卡合晶圓夾鉤的凹槽。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東臺鐳創光電技術有限公司，其通訊地址為：224200 江蘇省鹽城市東臺經濟開發區中歐產業園4號廠房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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