買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉寧波芯納川科技有限公司申請(qǐng)的專利一種提高聲表濾波器Q值的結(jié)構(gòu)與制造方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN111934642B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202010654485.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H03H9/02；該發(fā)明授權(quán)一種提高聲表濾波器Q值的結(jié)構(gòu)與制造方法是由楊曉東;岳曉斌;李小珍;邢孟江設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-07-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種提高聲表濾波器Q值的結(jié)構(gòu)與制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種提高聲表濾波器Q值的結(jié)構(gòu)與制造方法，屬于電子技術(shù)領(lǐng)域。該結(jié)構(gòu)包括壓電材料襯底基板和金屬換能器電極，金屬換能器電極設(shè)置在壓電材料襯底基板上，金屬換能器電極包括間斷型金屬粘附層、金屬填充層和金屬覆蓋層，間斷型金屬粘附層設(shè)置在壓電材料襯底基板上，金屬填充層填充設(shè)置在間斷型金屬粘附層的間隙中，金屬覆蓋層設(shè)置在間斷型金屬粘附層和金屬填充層上，間斷型金屬粘附層、金屬填充層和金屬覆蓋層形成疊層結(jié)構(gòu)。本發(fā)明提高聲表濾波器Q值的結(jié)構(gòu)可采用光刻、金屬生長(zhǎng)、剝離和化學(xué)機(jī)械拋光方法進(jìn)行制備，既保證濾波器制造穩(wěn)定性并能通過結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)提高聲表濾波器的Q值，適用于高穩(wěn)定性、高Q值的聲表濾波器設(shè)計(jì)與制造。

本發(fā)明授權(quán)一種提高聲表濾波器Q值的結(jié)構(gòu)與制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種提高聲表濾波器Q值的結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，所述提高聲表濾波器Q值的結(jié)構(gòu)，包括壓電材料襯底基板和金屬換能器電極，金屬換能器電極設(shè)置在壓電材料襯底基板上，金屬換能器電極包括間斷型金屬粘附層、金屬填充層和金屬覆蓋層，間斷型金屬粘附層設(shè)置在壓電材料襯底基板上，金屬填充層填充設(shè)置在間斷型金屬粘附層的間隙中，金屬覆蓋層設(shè)置在間斷型金屬粘附層和金屬填充層上，間斷型金屬粘附層、金屬填充層和金屬覆蓋層形成疊層結(jié)構(gòu)； 制造方法的具體步驟如下： （1）對(duì)壓電單晶襯底基板進(jìn)行清洗備用； （2）在步驟（1）壓電單晶襯底基板上均勻涂覆光刻膠，利用光刻機(jī)和間斷型粘附層金屬相適應(yīng)的掩膜版，在壓電單晶襯底基板上進(jìn)行掩膜版光刻，再利用光刻機(jī)在壓電單晶襯底基板上進(jìn)行無掩膜版光刻，顯影形成間斷型金屬粘附層的間斷型條紋圖案，再在壓電單晶襯底基板的間斷型條紋圖案上定位生長(zhǎng)粘附層金屬薄膜，剝離即得間斷型金屬粘附層結(jié)構(gòu)； （3）在步驟（2）生長(zhǎng)有間斷型金屬粘附層結(jié)構(gòu)的壓電單晶襯底基板上均勻涂覆光刻膠，利用光刻機(jī)和金屬填充層相適應(yīng)的掩膜版，在壓電單晶襯底基板上進(jìn)行掩膜版套刻，再利用光刻機(jī)在壓電單晶襯底基板上進(jìn)行無掩膜版光刻，顯影形成金屬填充層的間斷型條紋圖案，再在壓電單晶襯底基板的間斷型條紋圖案上定位生長(zhǎng)金屬填充層薄膜，剝離即得金屬填充層結(jié)構(gòu)；其中金屬填充層的間斷型條紋圖案與步驟（2）間斷型粘附層金屬的間斷型條紋圖案交錯(cuò)； （4）在步驟（3）金屬填充層頂端繼續(xù)生長(zhǎng)金屬薄膜并使其覆蓋間斷型金屬粘附層得到金屬覆蓋層； （5）對(duì)步驟（4）金屬覆蓋層上表面進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光以達(dá)到金屬電極表面平整度，得到提高聲表濾波器Q值的結(jié)構(gòu)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人寧波芯納川科技有限公司，其通訊地址為：315800 浙江省寧波市北侖區(qū)小港街道安居弄27號(hào)2幢1號(hào)一層-2、-3；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。