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龍圖騰網獲悉上海邦芯半導體設備有限公司申請的專利感性耦合反應器及其工作方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111769062B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010733754.3，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權感性耦合反應器及其工作方法是由吳堃;楊猛設計研發完成，并于2020-07-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本感性耦合反應器及其工作方法在說明書摘要公布了：一種感性耦合反應器及其工作方法，感性耦合反應器包括：反應腔主體；位于所述反應腔主體上方的感性耦合射頻單元；所述感性耦合射頻單元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩內部的反應室介質管，所述反應室介質管的側壁傾斜且反應室介質管的頂部橫截面小于底部橫截面；位于所述屏蔽罩內部且分布于所述反應室介質管側部的射頻天線，所述射頻天線包括有效射頻天線，所述有效射頻天線的高度可調。所述感性耦合反應器能加強對等離子體分布的控制能力。

本發明授權感性耦合反應器及其工作方法在權利要求書中公布了：1.一種感性耦合反應器，其特征在于，包括： 反應腔主體； 位于所述反應腔主體上方的感性耦合射頻單元； 所述感性耦合射頻單元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩內部的反應室介質管，所述反應室介質管的側壁傾斜且反應室介質管的頂部橫截面小于底部橫截面；位于所述屏蔽罩內部且分布于所述反應室介質管側部的射頻天線，所述射頻天線為具有多匝連續的盤香型線圈，所述射頻天線環繞所述反應室介質管，所述射頻天線包括有效射頻天線，所述有效射頻天線的高度可調，以通過所述有效射頻天線位置的變化使得所述反應室介質管內部的等離子體密度分布可調； 位于所述反應室介質管頂部的進氣通道，所述進氣通道適于通入刻蝕晶圓的刻蝕氣體至所述反應室介質管中； 所述射頻天線和所述有效射頻天線一致；所述感性耦合射頻單元還包括：位于所述屏蔽罩內部的天線高度調節器，所述天線高度調節器適于在縱向調節所述射頻天線的位置； 所述射頻天線環繞所述反應室介質管且具有多匝連續的線圈；所述射頻天線具有第一天線終端和第二天線終端； 所述感性耦合射頻單元還包括：射頻源；射頻匹配器，所述射頻匹配器的一端與所述射頻源連接，所述射頻匹配器的另一端與所述第一天線終端連接；電壓平衡電容，所述電壓平衡電容的一端與所述第二天線終端連接，所述電壓平衡電容的另一端接地； 所述射頻天線具有第一天線終端和第二天線終端以及位于所述第一天線終端和第二天線終端之間的多個中間連接端；所述第一天線終端為所述有效射頻天線的輸入端，第二天線終端或者任一中間連接端為所述有效射頻天線的輸出端。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海邦芯半導體設備有限公司，其通訊地址為：201500 上海市金山區衛昌路293號2幢12638室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。