巴斯夫歐洲公司M·勞特爾獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉巴斯夫歐洲公司申請的專利用于抑制鎢蝕刻的組合物獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114080473B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080049448.6,技術領域涉及:C23F11/02;該發明授權用于抑制鎢蝕刻的組合物是由M·勞特爾;H·O·格文茨;W·L·仇;魏得育設計研發完成,并于2020-08-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于抑制鎢蝕刻的組合物在說明書摘要公布了:本發明涉及用于抑制蝕刻的組合物和方法。特別地,本發明涉及用于抑制鎢蝕刻的組合物和方法。
本發明授權用于抑制鎢蝕刻的組合物在權利要求書中公布了:1.一種用于抑制鎢蝕刻的組合物,包含: A至少一種無機研磨顆粒; B至少一種選自芐索銨鹽的腐蝕抑制劑;和 C含水介質;且 其中所述組合物的pH值為≥6.0至≤8.0, 其中所述至少一種腐蝕抑制劑B以基于組合物的總重量≥0.0001重量%至≤0.009重量%的濃度存在。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人巴斯夫歐洲公司,其通訊地址為:德國萊茵河畔路德維希港;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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