買(mǎi)專(zhuān)利賣(mài)專(zhuān)利找龍圖騰，真高效！ 查專(zhuān)利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專(zhuān)利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉科磊股份有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利生產(chǎn)及過(guò)程控制工具的襯底搬運(yùn)的自動(dòng)教導(dǎo)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114342056B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202080061550.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)生產(chǎn)及過(guò)程控制工具的襯底搬運(yùn)的自動(dòng)教導(dǎo)是由A·薩夫蘭尼;S·馬克;A·艾曾;M·阿爾比特設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-09-08向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本生產(chǎn)及過(guò)程控制工具的襯底搬運(yùn)的自動(dòng)教導(dǎo)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：將教導(dǎo)襯底裝載到制作或檢驗(yàn)工具的裝備前端模塊EFEM的裝載口中。所述EFEM包含襯底搬運(yùn)機(jī)器人。所述教導(dǎo)襯底包含多個(gè)傳感器及一或多個(gè)無(wú)線收發(fā)器。所述工具包含多個(gè)工作站。在所述教導(dǎo)襯底位于所述EFEM中的情況下，所述襯底搬運(yùn)機(jī)器人沿著初始路線移動(dòng)且從所述教導(dǎo)襯底無(wú)線地接收傳感器數(shù)據(jù)。至少部分地基于所述傳感器數(shù)據(jù)，確定不同于所述初始路線的經(jīng)修改路線。所述襯底搬運(yùn)機(jī)器人沿著所述經(jīng)修改路線移動(dòng)，從而搬運(yùn)所述教導(dǎo)襯底。至少部分地基于所述傳感器數(shù)據(jù)，確定所述多個(gè)工作站的位置。

本發(fā)明授權(quán)生產(chǎn)及過(guò)程控制工具的襯底搬運(yùn)的自動(dòng)教導(dǎo)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種設(shè)備，其包括： 襯底，其將被裝載到制作或檢驗(yàn)工具的裝備前端模塊中，其中所述襯底由所述裝備前端模塊的襯底搬運(yùn)機(jī)器人的末端執(zhí)行器載運(yùn)，且其中所述工具包括多個(gè)工作站，且所述多個(gè)工作站包括位于不同于所述裝備前端模塊的所述工具的腔室中的卡盤(pán)，所述腔室通過(guò)艙口與所述裝備前端模塊分開(kāi)； 第一相機(jī)，其位于所述襯底上以使所述襯底的一側(cè)向外的區(qū)域成像； 第二相機(jī)，其位于所述襯底上以使在所述襯底下面的區(qū)域成像；及 一或多個(gè)無(wú)線收發(fā)器，其位于所述襯底上以傳輸由所述第一相機(jī)及所述第二相機(jī)捕獲的圖像， 其中在所述襯底位于所述末端執(zhí)行器上的情況下將所述襯底定位在所述艙口前面以使所述艙口在所述第一相機(jī)的視場(chǎng)中，且其中所述圖像包括由所述第一相機(jī)拍攝的所述艙口的圖像； 其中至少部分地基于由所述第一相機(jī)及所述第二相機(jī)捕獲的所述圖像，對(duì)在所述工具中通過(guò)所述襯底搬運(yùn)機(jī)器人移動(dòng)所述襯底的初始路線進(jìn)行修改從而確定在所述工具中移動(dòng)所述襯底的經(jīng)修改路線。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù)，可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人科磊股份有限公司，其通訊地址為：美國(guó)加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。