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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州珂瑪材料科技股份有限公司申請的專利陶瓷加熱盤、制備方法和模具及化學氣相沉積設備獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114150295B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產權局官網(wǎng)在2025-09-19發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202111050640.X，技術領域涉及：C23C16/46；該發(fā)明授權陶瓷加熱盤、制備方法和模具及化學氣相沉積設備是由施建中;何琪娜;劉先兵設計研發(fā)完成，并于2021-09-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本陶瓷加熱盤、制備方法和模具及化學氣相沉積設備在說明書摘要公布了：本申請涉及一種陶瓷加熱盤、制備方法和模具及化學氣相沉積設備。常溫下將陶瓷原料粉進行預壓，并將射頻電極及加熱部件和陶瓷原料粉預成型，然后與燒制好的陶瓷管進行熱壓一次成型陶瓷加熱盤，一次的高溫燒制避免重復多次的高溫過程容易引起加熱盤體內部電阻的變化，以及由于二次燒結導致陶瓷晶粒二次長大使得陶瓷性能發(fā)生改變，陶瓷基體機械性能和物理性能變差，進而提高了陶瓷加熱盤的熱均勻性和使用壽命。

本發(fā)明授權陶瓷加熱盤、制備方法和模具及化學氣相沉積設備在權利要求書中公布了：1.一種陶瓷加熱盤，其特征在于，包括：加熱盤體，預壓的多層加熱盤體層經熱壓后形成所述加熱盤體； 射頻電極，設置于第二盤體層內； 加熱部件，設置于第三盤體層內； 陶瓷管，連接所述加熱盤體； 引出電極，數(shù)量為多個，穿過所述陶瓷管分別連接所述射頻電極和加熱部件； 所述陶瓷加熱盤由陶瓷原料粉、所述射頻電極及所述加熱部件分多次預壓成型后和燒制好的陶瓷管一次熱壓成型; 所述加熱盤體上設置多個連接孔分別漏出所述射頻電極以及所述加熱部件的兩極，多個所述引出電極的一端分別伸入所述連接孔與所述射頻電極以及所述加熱部件的兩極連接;所述射頻電極連接有電極接頭；所述加熱部件的兩極連接有正接頭和負接頭；所述連接孔漏出所述電極接頭、所述正接頭和所述負接頭，分別與所述引出電極連接 所述連接孔包括光孔和螺紋孔，所述引出電極包括光孔段和螺紋段；所述螺紋段與所述螺紋孔連接，所述光孔段的外側與所述光孔的內壁之間形成第一間隙，所述第一間隙的寬度為0.1mm-3mm；所述光孔段的端部與所述電極接頭、所述正接頭和所述負接頭分別通過第一焊接層連接; 所述引出電極包括電極管段和電極桿段，所述光孔段和螺紋段設置于所述電極管段；所述電極管段形成有內孔，所述內孔的開口端為遠離所述光孔段的端部，所述內孔至少延伸到所述螺紋段，所述電極桿段伸入所述內孔與所述內孔底端焊接形成第二焊接層，所述電極桿段的外側與所述內孔的內壁之間形成第二間隙，所述第二間隙的寬度為0.1mm-3mm； 所述加熱部件包括上加熱部件和下加熱部件。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人蘇州珂瑪材料科技股份有限公司，其通訊地址為：215011 江蘇省蘇州市蘇州高新區(qū)漓江路58號6#廠房；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。