福建省晉華集成電路有限公司許耀光獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉福建省晉華集成電路有限公司申請的專利半導(dǎo)體器件及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114038849B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-19發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202111316015.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10B12/00;該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體器件及其制備方法是由許耀光;蔡建成;鄭俊義;吳建山;賈世元;周芷伊設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2021-11-08向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本半導(dǎo)體器件及其制備方法在說明書摘要公布了:本申請?zhí)峁┮环N半導(dǎo)體器件及其制備方法,該半導(dǎo)體器件中每個所述有源圖案被第二隔離結(jié)構(gòu)截?cái)酁槎鄠€子圖案;每個所述有源圖案中,在平行于所述襯底上表面的平面內(nèi),所述子圖案與相鄰的所述第二隔離結(jié)構(gòu)的接觸部分呈向所述子圖案內(nèi)部凹陷的圓弧狀;或每個所述第二隔離圖案包括在所述襯底上依次疊層設(shè)置的第一隔離部分和第二隔離部分;在平行于所述襯底上表面的平面內(nèi),所述第二隔離部分的截面尺寸大于所述第一隔離部分的截面尺寸。使得有源圖案在與其上方的位線接觸時,增大了與其它部件的接觸面積,加強(qiáng)了接觸效果,提升了器件的電學(xué)性能。
本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體器件及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導(dǎo)體器件,其特征在于,包括: 半導(dǎo)體襯底; 間隔設(shè)置于所述襯底表面內(nèi)的多個有源圖案;其中,所述多個有源圖案沿第一方向延伸且相互平行排布; 設(shè)置于任意相鄰兩個所述有源圖案之間的第一隔離結(jié)構(gòu); 其中,每個所述有源圖案被第二隔離結(jié)構(gòu)截?cái)酁槎鄠€子圖案;每個所述有源圖案中,在平行于所述襯底上表面的平面內(nèi),所述子圖案與相鄰的所述第二隔離結(jié)構(gòu)的接觸部分呈向所述子圖案內(nèi)部凹陷的圓弧狀;所述第二隔離結(jié)構(gòu)的直徑大于所述有源圖案的線寬。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人福建省晉華集成電路有限公司,其通訊地址為:362200 福建省泉州市晉江市集成電路科學(xué)園聯(lián)華大道88號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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