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龍圖騰網獲悉杭州眾硅電子科技有限公司申請的專利站立式晶圓卡座獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114420624B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111533401.X，技術領域涉及：H01L21/687；該發明授權站立式晶圓卡座是由朱政挺設計研發完成，并于2021-12-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本站立式晶圓卡座在說明書摘要公布了：本發明公開了站立式晶圓卡座，至少包括一個基座單元；基座單元包括第一晶圓座和第二晶圓座；第一晶圓座頂部帶有第一弧形凹面，其朝向第二晶圓座的一側形成第一作用面，該第一作用面對應第一弧形凹面所在區域，且第一作用面的形狀為Y字形豎直對半分后的左側結構；第二晶圓座頂部帶有第二弧形凹面，其朝向第一晶圓座的一側形成第二作用面，該第二作用面對應第二弧形凹面所在區域，且第二作用面的形狀為Y字形豎直對半分后的右側結構；第一作用面和第二作用面配合以支撐晶圓豎直站立。本發明合理利用了豎直方向的空間；第一弧形凹面和第二弧形凹面、第一作用面和第二作用面的設計，使得晶圓在放入卡座后，部分弧線整體都被限位，更為穩定。

本發明授權站立式晶圓卡座在權利要求書中公布了：1.站立式晶圓卡座，其特征在于： 所適用的晶圓（3）的外邊緣帶有缺口部（31），該缺口部（31）為晶圓（3）邊緣水平切削形成，其平面寬度達到了55-60mm； 至少包括一個基座單元（10）； 所述基座單元（10）包括第一晶圓座（1）和第二晶圓座（2）； 所述第一晶圓座（1）頂部帶有第一弧形凹面（11），其朝向第二晶圓座（2）的一側形成第一作用面（12），該第一作用面（12）對應第一弧形凹面（11）所在區域，且第一作用面（12）的形狀為Y字形豎直對半分后的左側結構； 所述第二晶圓座（2）頂部帶有第二弧形凹面（21），其朝向第一晶圓座（1）的一側形成第二作用面（22），該第二作用面（22）對應第二弧形凹面（21）所在區域，且第二作用面（22）的形狀為Y字形豎直對半分后的右側結構； 所述第一弧形凹面（11）和第二弧形凹面（21）連續設置，所述第一弧形凹面（11）或和第二弧形凹面（21）的圓心角為30-180°； 所述第二作用面（22）與晶圓（3）形成面接觸，以支撐晶圓（3）豎直站立； 所述第一作用面（12）包括第一傾斜面（121）和第一豎直面（122），所述第二作用面（22）包括第二傾斜面（221）和第二豎直面（222）；所述第一豎直面（122）和第二豎直面（222）分別與晶圓（3）的兩側面外緣面接觸； 所述第一豎直面（122）或第二豎直面（222）底部形成與其相垂直的支撐面（223），所述第二豎直面（222）或第一豎直面（122）底部形成臺階面（123），所述臺階面（123）架設在支撐面（223）上，且可沿支撐面（223）平移以調節第一豎直面（122）和第二豎直面（222）之間的間距，該間距為0.5-2mm。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人杭州眾硅電子科技有限公司，其通訊地址為：311300 浙江省杭州市臨安區青山湖街道創業街88號1幢一層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。