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龍圖騰網獲悉西安交通大學申請的專利一種具有彎曲和扭轉變形功能的柔性PMUTs及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115148893B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210901455.5，技術領域涉及：H10N30/20；該發明授權一種具有彎曲和扭轉變形功能的柔性PMUTs及其制備方法是由李支康;袁佳煒;趙立波;李梓璇;秦韶輝;石璇;馬琦;羅國希;楊萍;王小章;蔣莊德設計研發完成，并于2022-07-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種具有彎曲和扭轉變形功能的柔性PMUTs及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種具有彎曲和扭轉變形功能的柔性PMUTs及其制備方法，包括柔性基底和設置于柔性基底上的若干換能單元，各換能單元之間是相互獨立的，具體是指各單元的結構層、柔性下電極、下壓電層、柔性中間電極、上壓電層和柔性上電極是相互獨立的，各換能單元之間僅靠柔性材料連接，在器件彎曲、拉伸及扭轉時，柔性材料被拉伸或壓縮，產生較大形變，而各單元的壓電層和結構層幾乎不產生形變，不會導致上壓電層、下壓電層和結構層破斷裂，從而在實現器件整體的高柔性和可拉伸性的同時保證各PMUTs單元性能不受影響。本發明的柔性PMUTs可采用全MEMS工藝進行制作，可在實現制作具有彎曲和扭轉功能PMUTs的同時，保證器件的高靈敏度和單元密度。

本發明授權一種具有彎曲和扭轉變形功能的柔性PMUTs及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種具有彎曲和扭轉變形功能的柔性PMUTs，其特征在于，包括柔性基底（13）和設置于柔性基底（13）上的若干換能單元，每個換能單元包括柔性支柱（11）、結構層（7）、柔性下電極（6）、下壓電層（5）、柔性中間電極（4）、上壓電層（3）和柔性上電極（1），柔性支柱（11）設置于柔性基底（13）上，結構層（7）設置于柔性支柱（11）的上端，結構層（7）、柔性支柱（11）和柔性基底（13）之間密封形成有真空的空腔（12）；下壓電層（5）設置于結構層（7）的上表面，柔性下電極（6）設置于結構層（7）上表面且柔性下電極（6）嵌入下壓電層（5）的下表面；上壓電層（3）設置于下壓電層（5）的上表面，柔性中間電極（4）的形狀為環狀，柔性中間電極（4）設置于下壓電層（5）的上表面且柔性中間電極（4）嵌入上壓電層（3）的下表面，柔性上電極（1）設置于上壓電層（3）的上表面；柔性上電極（1）與柔性下電極（6）電連接； 相鄰換能單元之間公用所述柔性支柱（11），所有換能單元的柔性上電極（1）之間設置上電極電連接（8）；所有的換能單元的柔性中間電極（4）之間設置中間電極電連接（10）。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人西安交通大學，其通訊地址為：710049 陜西省西安市咸寧西路28號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。