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龍圖騰網獲悉無錫江松科技股份有限公司申請的專利直流式硅片輸送系統及工藝流程獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115458455B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211220196.6，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權直流式硅片輸送系統及工藝流程是由安迪設計研發完成，并于2022-10-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本直流式硅片輸送系統及工藝流程在說明書摘要公布了：本發明涉及硅片輸送技術領域，具體涉及直流式硅片輸送系統及工藝流程。處理主機兩側分別包括若干進口和若干出口，取片輸料機構和取片出料機構分別設置于進口和所述出口的一側；取片輸料機構和取片出料機構均包括依次設置的花籃取片升降機構、花籃緩存機構、硅片輸送跑道；直線跑道、橫移跑道和輔助跑道依次設置于取片輸料機構的另一側；取片輸料機構另一側設置有機械手。直線跑道直接輸送的方式能夠有效減少輸送的時間。同時部件的數量只需要處理主機的進口、出口的一半設置即可，能夠有效節約成本，同時還能夠減小設備的占地面積。并且，機械手只需要將硅片抓取至后續的處理工位中即可，無需對花籃進行處理，能夠有效提高整體處理的效率。

本發明授權直流式硅片輸送系統及工藝流程在權利要求書中公布了：1.直流式硅片輸送系統，其特征在于，包括直線跑道（1）、橫移跑道（2）、輔助跑道（3）、取片輸料機構（4）、取片出料機構（5）、處理主機（6）； 所述處理主機（6）兩側分別包括若干進口（7）和若干出口（8），所述取片輸料機構（4）和所述取片出料機構（5）分別設置于所述進口（7）和所述出口（8）的一側； 所述取片輸料機構（4）和所述取片出料機構（5）均包括依次設置的花籃取片升降機構（10）、花籃緩存機構（11）、硅片輸送跑道（12）； 所述直線跑道（1）、所述橫移跑道（2）和所述輔助跑道（3）依次設置于所述取片輸料機構（4）的另一側；所述取片輸料機構（4）另一側設置有機械手（9）； 所述硅片輸送跑道（12）包括主跑道（13）和副跑道（14），所述副跑道（14）設置于所述主跑道（13）的尾端，所述主跑道（13）和所述副跑道（14）的數量總和與所述進口（7）的數量和所述出口（8）的數量相同，且對應設置；所述輔助跑道（3）的數量、所述花籃取片升降機構（10）的數量、所述花籃緩存機構（11）的數量和所述主跑道（13）的數量相同，且對應進行設置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫江松科技股份有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區碩放長江東路208號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。