中國科學技術大學左成杰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學技術大學申請的專利一種偽模態抑制型的高頻聲波諧振器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116111975B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310081839.1,技術領域涉及:H03H9/02;該發明授權一種偽模態抑制型的高頻聲波諧振器是由左成杰;劉雪彥;戴忠斌設計研發完成,并于2023-01-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種偽模態抑制型的高頻聲波諧振器在說明書摘要公布了:本發明提供了一種偽模態抑制型的高頻聲波諧振器,該高頻聲波諧振器包括:襯底,壓電層,叉指電極;該叉指電極包括在第一方向上相對設置的第一匯流條和第二匯流條,以及位于第一匯流條和第二匯流條之間的多個電極指,該電極指的排布方式可以使多個第一級間隙點和多個第二級間隙點依次連接構成二維虛擬多邊形,虛擬多邊形的任意兩邊互不平行,從而可以改變空間電場分布,調整長度方向和傳播方向被激發的高階聲波,進而削弱偽模態的振動幅度,有效抑制了偽模態,并且不需要增加額外的工藝,避免了其它影響性能的因素,得到的高頻聲波諧振器既能有效抑制偽模態又可以提升濾波器的帶內平坦度,避免了影響聲波諧振器的性能。
本發明授權一種偽模態抑制型的高頻聲波諧振器在權利要求書中公布了:1.一種偽模態抑制型的高頻聲波諧振器,其特征在于,所述高頻聲波諧振器包括: 襯底; 位于所述襯底一側的壓電層; 位于所述壓電層背離所述襯底一側的多個叉指電極; 所述叉指電極包括在第一方向上相對設置的第一匯流條和第二匯流條,以及位于所述第一匯流條和所述第二匯流條之間的多個電極指,所述電極指包括第一電極和第二電極; 在第二方向上,所述第一電極包括在所述第一匯流條面向所述第二匯流條的一側交替排布的多個第一電極指和多個第一偽電極指,所述第二電極包括在所述第二匯流條面向所述第一匯流條的一側交替排布的多個第二電極指和多個第二偽電極指,所述第一方向和所述第二方向均平行于所述襯底所在平面,且所述第二方向與所述第一方向垂直; 所述第一電極指和所述第二偽電極指在所述第一方向上相對設置,所述第一偽電極指和所述第二電極指在所述第一方向上相對設置,所述第一電極指和所述第二偽電極指之間具有第一級間隙點,所述第一偽電極指和所述第二電極指之間具有第二級間隙點; 其中,多個所述第一級間隙點和多個所述第二級間隙點作為頂點依次連接構成虛擬多邊形,所述虛擬多邊形的任意兩邊互不平行。
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