應用材料公司托馬斯·L·萊蒂格獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利用于數字光刻的圖像穩定化獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115380249B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080099720.1，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權用于數字光刻的圖像穩定化是由托馬斯·L·萊蒂格;克里斯多弗·丹尼斯·本徹設計研發完成，并于2020-04-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于數字光刻的圖像穩定化在說明書摘要公布了：本公開內容提供當存在包括子像素交叉掃描振動的交叉掃描振動時，用于校正從空間光調制器SLM到基板的圖像的投射的方法和系統。這些方法和系統包括：偏移相對于基板上的橫向掃描行進方向旋轉的SLM上的掩模圖案，沿著SLM的軸偏移以對交叉掃描振動進行校正，以及延遲或加速投射掩模圖案到基板上。
本發明授權用于數字光刻的圖像穩定化在權利要求書中公布了：1.一種用于數字光刻的圖像穩定化的方法，包括以下步驟： 在圖像投影系統中提供空間光調制器SLM，所述空間光調制器相對于橫向掃描方向以一個旋轉角度定位，所述空間光調制器包括多個SLM像素； 光柵化掩模圖案以形成用于從所述SLM投影的光柵化的掩模圖案，所述掩模圖案對應于所述多個SLM像素中的第一組SLM像素； 在控制器處檢測所述SLM與基板之間的交叉掃描振動，所述交叉掃描振動引起交叉掃描偏差；和 響應于所述檢測，通過調整所述光柵化的掩模圖案的所述投影的時間，將所述SLM內的所述光柵化的掩模圖案沿所述橫向掃描方向偏移到第二組SLM像素，以對所述交叉掃描偏差進行校正。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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