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龍圖騰網(wǎng)獲悉江蘇凱威特斯半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利一種半導(dǎo)體器件清洗路徑規(guī)劃預(yù)警方法和系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119963780B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510046177.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06T19/00；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體器件清洗路徑規(guī)劃預(yù)警方法和系統(tǒng)是由林藝民;王加林;尚明貴;唐暢;杜薛林;朱文健設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-01-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種半導(dǎo)體器件清洗路徑規(guī)劃預(yù)警方法和系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體器件清洗路徑規(guī)劃預(yù)警方法和系統(tǒng)，屬于計算機數(shù)據(jù)信息處理技術(shù)領(lǐng)域；該方法包括獲取待清洗半導(dǎo)體器件表面參數(shù)數(shù)據(jù)，歸一化處理后生成綜合特征向量，并構(gòu)建三維表面模型；對表面區(qū)域進(jìn)行分割，并生成n個清洗單元；n為清洗單元數(shù)量，n為自然數(shù)；采用路徑規(guī)劃算法生成清洗路徑；啟動清洗并實時監(jiān)測半導(dǎo)體器件表面參數(shù)，動態(tài)調(diào)整清洗參數(shù)和清洗路徑；利用清洗后表面信息與目標(biāo)特征值的匹配結(jié)果，識別未清洗區(qū)域，并優(yōu)化清洗路徑至清洗完成；本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體器件激光清洗過程的實時預(yù)警，確保清洗過程中與目標(biāo)特征值保持一致，而且能夠靈活處理復(fù)雜表面，避免重復(fù)清洗與能量浪費，提升整體效率。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體器件清洗路徑規(guī)劃預(yù)警方法和系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體器件清洗路徑規(guī)劃預(yù)警方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：步驟1：獲取待清洗半導(dǎo)體器件的表面溫度、反射率和空間深度信息，歸一化處理后生成綜合特征向量，并基于空間深度信息構(gòu)建三維表面模型；同時，對清洗前的半導(dǎo)體器件的表面圖像進(jìn)行特征提取，生成初始圖像特征向量； 步驟2：利用所述綜合特征向量和三維表面模型，對半導(dǎo)體器件的表面區(qū)域進(jìn)行分割生成n個清洗單元； 步驟3：基于半導(dǎo)體器件的表面區(qū)域分割結(jié)果，采用路徑規(guī)劃算法，結(jié)合路徑長度和激光能量使用的優(yōu)化目標(biāo)，生成清洗路徑； 步驟4：啟動清洗并實時監(jiān)測半導(dǎo)體器件表面的溫度、反射率和空間深度信息，動態(tài)調(diào)整清洗參數(shù)和清洗路徑； 步驟5：利用清洗后表面信息與目標(biāo)特征值的匹配結(jié)果，識別未清洗區(qū)域，并優(yōu)化清洗路徑至清洗完成； 所述步驟2的分割，具體為：基于所述綜合特征向量和三維表面模型，通過動態(tài)分割算法對半導(dǎo)體器件表面劃分為n個清洗單元，并根據(jù)清洗單元的復(fù)雜度動態(tài)調(diào)整分割粒度； 所述動態(tài)分割算法采用基于綜合特征向量與空間深度信息的動態(tài)聚類分割方法，所述動態(tài)分割算法的分割粒度fsegsi的公式具體為： 其中，vcsi為第i個清洗單元的綜合特征向量；vc為當(dāng)前聚類中心特征向量；||vsi-vc||2為歐幾里得距離平方，衡量單元間特征相似度；表示空間深度梯度絕對值的總和，用于反映清洗區(qū)域表面的復(fù)雜度；γ為根據(jù)表面復(fù)雜度動態(tài)調(diào)整的權(quán)重因子；λ為粒度調(diào)整權(quán)重；Ai為清洗單元面積；n為清洗單元數(shù)量，n為自然數(shù)；si表示第i個清洗單元；Tsi為動態(tài)調(diào)整的分割粒度閾值。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人江蘇凱威特斯半導(dǎo)體科技有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市錫山經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)團結(jié)路31號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。